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9" " 5. 機台操作 # l 打開電源開關，開啟電源。 l 打開功能需求開關： Ø 按下溫控電源開關。 Ø 設定真空吸盤溫度（依需求設定 RT ~ 100 ° C ）。 Ø 破真空計時器 （時間到達後才可執行下一步→頂 PIN 上 升） l 手動方式把貼好膠膜之晶圓置於真空吸盤上面，外圍平台 上有定位 Pin ，確實定位後再平放於平台上 。 l 開啟真空開關 。 l 利用手動方式將膠膜與晶圓分離，直到膠膜完全撕離…
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4. 主要規格#
機台型號
TF-608
材料尺寸
150、200mm
工作台
6’8 吋共用陶瓷吸盤
工作台加熱溫度
RT ~ 100°C
電源電壓
AC 110V 50/60HZ
耗電量
700W
氣源輸入
ψ8mm 軟管
壓縮空氣供給壓力
0.4~0.6 Mpa，氣源 Ø8 軟管
機台尺寸
480(W) * 380(L) * 365(H)
機台重量
22KG
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5. 機台操作#
l 打開電源開關，開啟電源。
l 打開功能需求開關：
Ø 按下溫控電源開關。
Ø 設定真空吸盤溫度（依需求設定 RT ~ 100°C）。
Ø 破真空計時器（時間到達後才可執行下一步→頂 PIN 上
升）
l 手動方式把貼好膠膜之晶圓置於真空吸盤上面，外圍平台
上有定位 Pin，確實定位後再平放於平台上。
l 開啟真空開關。
l 利用手動方式將膠膜與晶圓分離，直到膠膜完全撕離為
止。
l 關閉真空開關（卻認真空壓力錶數值）。
l 計時器將開始計時（延長時間確保破真空，計時器時間結
束後，頂 PIN 開關才會亮燈）。
l 頂 PIN 開關亮燈後即可開啟開關，頂 PIN 上升將晶圓頂高。
l 取出撕膠後晶圓。
l 關閉頂 PIN 開關，頂 PIN 下降。
l 完成。
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6. 維護保養#
l 保持吸盤貼合面清潔，必要時以酒精擦拭。
l 真空吸盤真空不良時，檢查管路及陶瓷吸盤是否堵塞異
常。
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7. 故障排除#
l 工作平台加熱異常:
Ø 確認溫加熱開關是否有開啟(參考附錄)。
Ø 確認顯示溫度值是否合理。
Ø 確認溫控傳感器SENSOR線是否斷線。
Ø 確認溫控傳感器是否損壞。
l 真空異常：
Ø 確認吸盤是否破真空狀態。
Ø 確認真空管路有無破損。
Ø 多孔陶瓷是否堵塞。
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