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2" " 1. 適用 # 撕膠平台適用於 8 吋晶圓解膠後之膠膜撕除裝置。 2. 設備外觀尺寸 #
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目 錄
1.! 適用 ............................................. 2!
2.! 設備外觀尺寸 ...................................... 2!
3.! 名稱及功能概述 .................................... 3!
3.1 機構硬體 ...................................... 3!
3.2 操作面板 ...................................... 4!
3.3 輸入面板 ...................................... 5!
3.4 真空吸盤 ...................................... 6!
3.5 機台安裝 ...................................... 7!
4.! 主要規格 .......................................... 8!
5.! 機台操作 .......................................... 9!
6.! 維護保養 ......................................... 10!
7.! 故障排除 ......................................... 10!
8.! 零件備品表 ....................................... 11!
附錄 A：離子風扇使用說明書 ............................. 12!
附錄 B：溫控器操作說明 ................................ 14!
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1. 適用#
撕膠平台適用於 8 吋晶圓解膠後之膠膜撕除裝置。
2. 設備外觀尺寸#
3"
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3. 名稱及功能概述#
3.1 機構硬體
1
離子風扇
3
頂 PIN 機構
2
真空吸盤
4
電控箱