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7" " 3.5 機台安裝 l 機台定位 ： 置於平台或平穩桌面 ， 保持四周整潔以免防礙操 作。 l 電源安裝 ： AC 110V 50/60HZ 。 l AIR 氣源安裝 ( 使用 8mm 軟管 ) 。

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3.4 真空吸盤
l 6、8 吋吸盤
1
8 吋晶圓定位 PIN
3
6 吋多孔陶瓷
2
8 吋多孔陶瓷
4
6 吋晶圓定位 PIN
l 吸盤更換
1. 吸盤更換時請拆下固定螺栓。
2. 取出真空吸盤，拆卸真空管路。
3. 換上所需真空吸盤，真空管路接回，將真空吸盤用固定螺栓鎖
緊。
4. 完成吸盤更換尺寸
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3.5 機台安裝
l 機台定位：置於平台或平穩桌面，保持四周整潔以免防礙操
作。
l 電源安裝：AC 110V 50/60HZ 。
l AIR 氣源安裝(使用 8mm 軟管) 。
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4. 主要規格#
TF-608
150、200mm
6’8 吋共用陶瓷吸盤
RT ~ 100°C
AC 110V 50/60HZ
700W
ψ8mm 軟管
0.4~0.6 Mpa，氣源 Ø8 軟管
480(W) * 380(L) * 365(H)
22KG
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