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3" " 3. 名稱 及 功能概述 # 3 .1 機構硬體 1 離子風扇 3 頂 PIN 機構 2 真空吸盤 4 電控箱
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1. 適用#
撕膠平台適用於 8 吋晶圓解膠後之膠膜撕除裝置。
2. 設備外觀尺寸#
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3. 名稱及功能概述#
3.1 機構硬體
1
離子風扇
3
頂 PIN 機構
2
真空吸盤
4
電控箱
4"
"
3.2 操作面板
1
頂 PIN 開關
5
溫度控制器
2
真空開關
6
電源開關
3
真空壓力錶
7
溫控開關
4
計時器
8
離子風扇開關