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10 " " 6. 維護保養 # l 保持吸盤貼合面清潔，必要時以酒精擦拭。 l 真空吸盤真空不良時，檢查管路及陶瓷吸盤是否堵塞 異 常。 " 7. 故障排除 # l 工作平台加熱異常 : Ø 確認溫加熱開關是否有開啟 ( 參考附錄 ) 。 Ø 確認顯示溫度值是否合理。 Ø 確認溫控傳感器 SENSOR 線是否斷線。 Ø 確認溫控傳感器是否損壞。 l 真空異常： Ø 確認吸盤是否破真空狀態。 Ø 確認真空管…
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5. 機台操作#
l 打開電源開關，開啟電源。
l 打開功能需求開關：
Ø 按下溫控電源開關。
Ø 設定真空吸盤溫度（依需求設定 RT ~ 100°C）。
Ø 破真空計時器（時間到達後才可執行下一步→頂 PIN 上
升）
l 手動方式把貼好膠膜之晶圓置於真空吸盤上面，外圍平台
上有定位 Pin，確實定位後再平放於平台上。
l 開啟真空開關。
l 利用手動方式將膠膜與晶圓分離，直到膠膜完全撕離為
止。
l 關閉真空開關（卻認真空壓力錶數值）。
l 計時器將開始計時（延長時間確保破真空，計時器時間結
束後，頂 PIN 開關才會亮燈）。
l 頂 PIN 開關亮燈後即可開啟開關，頂 PIN 上升將晶圓頂高。
l 取出撕膠後晶圓。
l 關閉頂 PIN 開關，頂 PIN 下降。
l 完成。
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6. 維護保養#
l 保持吸盤貼合面清潔，必要時以酒精擦拭。
l 真空吸盤真空不良時，檢查管路及陶瓷吸盤是否堵塞異
常。
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7. 故障排除#
l 工作平台加熱異常:
Ø 確認溫加熱開關是否有開啟(參考附錄)。
Ø 確認顯示溫度值是否合理。
Ø 確認溫控傳感器SENSOR線是否斷線。
Ø 確認溫控傳感器是否損壞。
l 真空異常：
Ø 確認吸盤是否破真空狀態。
Ø 確認真空管路有無破損。
Ø 多孔陶瓷是否堵塞。
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8. 零件備品表#
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說明
項目
specification
Lifeti
me
Lead
Time
Note
2
感溫 Sensor 線
Model: CA-TK10 ,1
Meter
1
years
or
more
1 weeks
3
真空吸盤
多孔陶瓷使用
1
years
or
more
4weeks
壽命取決於客戶
端使用量及狀況.
4
電磁閥
SM5101-L-110VAC
五口二位
1
years
or
more
1weeks
5
加熱片
AC 110V 600W-180-85
1
years
or
more
2weeks
7
電源按鈕開關
Model:停置平頭照光
型
1
years
or
more
1weeks
壽命取決於客戶
端使用量及狀況.
8
啟動按鈕開關
Model:平頭照光型
1
years
or
more
1weeks
壽命取決於客戶
端使用量及狀況.
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