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5" " 3 .3 輸入面板 1 滾動壓力調節器 3 電源開關 2 電源輸入 AC 110V 4 氣源輸入 ψ8 mm 軟管
4"
"
3.2 操作面板
1
頂 PIN 開關
5
溫度控制器
2
真空開關
6
電源開關
3
真空壓力錶
7
溫控開關
4
計時器
8
離子風扇開關
5"
"
3.3 輸入面板
1
滾動壓力調節器
3
電源開關
2
電源輸入 AC 110V
4
氣源輸入 ψ8mm 軟管
6"
"
3.4 真空吸盤
l 6、8 吋吸盤
1
8 吋晶圓定位 PIN
3
6 吋多孔陶瓷
2
8 吋多孔陶瓷
4
6 吋晶圓定位 PIN
l 吸盤更換
1. 吸盤更換時請拆下固定螺栓。
2. 取出真空吸盤，拆卸真空管路。
3. 換上所需真空吸盤，真空管路接回，將真空吸盤用固定螺栓鎖
緊。
4. 完成吸盤更換尺寸