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8" " 4. 主要規格 # 機台型號 TF - 608 材料尺寸 150 、 200mm 工作台 6 ’ 8 吋共用陶瓷吸盤 工作台加熱溫度 RT ~ 100 °C 電源電壓 AC 110V 50/60HZ 耗電量 700W 氣源輸入 ψ8 mm 軟管 壓縮空氣供給壓力 0.4~0.6 Mpa ，氣源 Ø8 軟管 機台尺寸 480 ( W ) * 380( L ) * 365(H) 機台重量 22KG "…

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3.5 機台安裝
l 機台定位：置於平台或平穩桌面，保持四周整潔以免防礙操
作。
l 電源安裝：AC 110V 50/60HZ 。
l AIR 氣源安裝(使用 8mm 軟管) 。
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4. 主要規格#
TF-608
150、200mm
6’8 吋共用陶瓷吸盤
RT ~ 100°C
AC 110V 50/60HZ
700W
ψ8mm 軟管
0.4~0.6 Mpa，氣源 Ø8 軟管
480(W) * 380(L) * 365(H)
22KG
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5. 機台操作#
l 打開電源開關，開啟電源。
l 打開功能需求開關：
Ø 按下溫控電源開關。
Ø 設定真空吸盤溫度（依需求設定 RT ~ 100°C）。
Ø 破真空計時器（時間到達後才可執行下一步→頂 PIN 上
升）
l 手動方式把貼好膠膜之晶圓置於真空吸盤上面，外圍平台
上有定位 Pin，確實定位後再平放於平台上。
l 開啟真空開關。
l 利用手動方式將膠膜與晶圓分離，直到膠膜完全撕離為
止。
l 關閉真空開關（卻認真空壓力錶數值）。
l 計時器將開始計時（延長時間確保破真空，計時器時間結
束後，頂 PIN 開關才會亮燈）。
l 頂 PIN 開關亮燈後即可開啟開關，頂 PIN 上升將晶圓頂高。
l 取出撕膠後晶圓。
l 關閉頂 PIN 開關，頂 PIN 下降。
l 完成。
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