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6" " 3 .4 真空吸盤 l 6 、 8 吋吸盤 1 8 吋 晶圓定位 PIN 3 6 吋 多孔陶瓷 2 8 吋 多孔陶瓷 4 6 吋 晶圓定位 PIN l 吸盤更換 1. 吸盤更換時請拆下固定螺 栓 。 2. 取出真空吸盤，拆卸真空管路 。 3. 換上所需真空吸盤，真空管路接回，將真空吸盤用固定螺栓鎖 緊 。 4. 完成吸盤更換尺寸
5"
"
3.3 輸入面板
1
滾動壓力調節器
3
電源開關
2
電源輸入 AC 110V
4
氣源輸入 ψ8mm 軟管
6"
"
3.4 真空吸盤
l 6、8 吋吸盤
1
8 吋晶圓定位 PIN
3
6 吋多孔陶瓷
2
8 吋多孔陶瓷
4
6 吋晶圓定位 PIN
l 吸盤更換
1. 吸盤更換時請拆下固定螺栓。
2. 取出真空吸盤，拆卸真空管路。
3. 換上所需真空吸盤，真空管路接回，將真空吸盤用固定螺栓鎖
緊。
4. 完成吸盤更換尺寸
7"
"
3.5 機台安裝
l 機台定位：置於平台或平穩桌面，保持四周整潔以免防礙操
作。
l 電源安裝：AC 110V 50/60HZ 。
l AIR 氣源安裝(使用 8mm 軟管) 。