KE-3010_FCS使用说明书.pdf - 第44页
◆ 修 订履 历 改版 日期 修订页 修订内容 备注 00 201 0.08 初版 01 201 1.11 P 1,2,3,7,8,2 3,25,33 追加 KE - 3010/3020 V/3020V R 修订 02 201 4.0 7 ⅱ , ⅲ , ⅴ , P 1,8,2 3,33 追加 KE - 301 0A/ 3020V A /302 0VR A 修订 03 201 5.01 ⅱ , P 1, 8, 33 追加 KE - 30…
FCS使用说明书
3-4 CPK 规格值（参考）
根据交付的规格书，将“3σ”与“平均值”相加的值作为规格值。
由于样本总体数少，用的是模具元件的值，故本CPK规格值仅供参考。
图像定心的综合，采用LNC60 Head的规格值。
表
3-8
与定心方式、
Head
、识别元件对应的规格值
定心方式
Head
激光识别速度
XY 规格值(mm)
θ 规格值(度)
激光
左 1Head(LNC60)
高速
±0.05
±2.5
中速
±0.3
低速
左 2Head(LNC60)
高速
±2.5
中速
±0.3
低速
左 3Head(LNC60)
高速
±2.5
中速
±0.3
低速
左 4Head(LNC60)
高速
±2.5
中速
±0.3
低速
左 5Head(LNC60)
高速
±2.5
中速
±0.3
低速
左 6Head(LNC60)
高速
±2.5
中速
±0.3
低速
右 1Head(FMLA)
高速
±0.07
±4.2
中速
±0.42
低速
标准 VCS
左
1Head(LNC60)
±0.04
±0.22
左
2Head(LNC60)
左
3Head(LNC60)
左
4Head(LNC60)
左
5Head(LNC60)
左
6Head(LNC60)
右
1Head(CDS)
±0.03
±0.2
综合
±0.04
±0.22
选项 VCS
左
1Head(LNC60)
±0.04
±0.22
左
2Head(LNC60)
左
3Head(LNC60)
左
4Head(LNC60)
左
5Head(LNC60)
左
6Head(LNC60)
右
1Head(CDS)
±0.03
±0.2
综合
±0.04
±0.22
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◆修订履历
改版 日期 修订页 修订内容 备注
00 2010.08
初版
01 2011.11 P1,2,3,7,8,23,25,33
追加 KE-3010/3020V/3020VR 修订
02 2014.07
ⅱ,ⅲ, ⅴ,P1,8,23,33
追加 KE-3010A/3020VA/3020VRA 修订
03 2015.01
ⅱ, P1, 8, 33 追加 KE-3010AC 修订
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