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NPM-D3
Service Manual
5.6 2D Inspection Head
EJM6D3-MB-05SM-00(
編集中
).DOC Page 5-91
36.
1. Set up the brackets A and B of the check box as shown below.
検査 BOX のブラケット A、およびブラッケ B 取り付け時状態にする。
将检查 BOX 的托架 A、托架 B 设为安装时的状态。
Bracket A
ブラケット A
托架 A
Bracket B
ブラケット B
托架 B
Rear
Top
NPM-D3
SERVICE MANUAL
EJM6D3-MB-06SM-00(編集中).DOC Page 6-1
6. CONTROL SYSTEM
制御システム
控制系统
This chapter illustrates the control system.
この章では、制御システムについて説明します。
本章中,对控制系统进行了说明。
6.1 Control System Configuration
6.2 P9 Controller
6.3 XY Drivers