SM481PLUS_Trouble(Chi_Ver2.1)_red.pdf - 第135页
1-111 MMI 错误码 （ Error Code ） 和问题解决 首先点击 按钮执行 ”Position” 对话框， 在 ANC 菜 单点击 ’Hole Position Detail …’ 后， 为确 认槽坐标是否准确选择错误发生的 AN C 槽， 确认要移动的设备是否 选择为 ”Fid Cam” 。 还有点击 <Move> 按钮移动到相应 ANC 槽位置确认槽的中心是否与设置的位置 一致。 另外 ， 利用示教框 …
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Fast Flexible Placer SM481 PLUS Troubleshooting Guide
从气压表(AIR PRESSURE) 确认压缩气的供应是否正常 (0.45~0.55Mpa)。
1:
压力减少
(
逆时针方向
)
2:
压力增加
(
顺时针方向
)
$6030 在Head $H上有吸嘴。但没有进行PUT。 [FREEZE LEVEL]
[原因]
吸嘴PUT动作后，未对准ANC槽的中心或因不适当的高度设定等无法进行吸嘴
ANC动作实际上磁头上存在吸嘴的情况或
[措施 方法]
按”STOP”按钮关闭蜂鸣器。
“按”RESET”按钮把设备转换成”IDLE”方式
点击”READY”按钮给设备提供电源。
在ANC对话框点击’Fiducial Mark Detail …’后移动到Fiducial Mark位置确认
Fiducial Mark位置是否准确设置。如果位置设置错误请重新进行示教。
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MMI
错误码（
Error Code
）和问题解决
首先点击 按钮执行”Position”对话框，在ANC菜单点击’Hole Position Detail
…’后，为确认槽坐标是否准确选择错误发生的 ANC槽，确认要移动的设备是否
选择为”Fid Cam”。
还有点击<Move>按钮移动到相应ANC槽位置确认槽的中心是否与设置的位置
一致。另外，利用示教框手动下降Z轴确认ANC槽坐标的Z值是否准确。
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在ANC对话框点击<Shutter On/Off>按钮确认闸门是否正常动作。
$6040 Z轴没有移动到PUT的位置。[FREEZE LEVEL]
[原因]
Z轴为吸嘴的PUT动作下降（DOWN）时发生错误。
[措施 方法]
确认相应ANC Hole位置和Z轴Offset。
确认ANC槽位置请参照$6030的[措施方法]中的ANC槽位置确认部分，确认相应
磁头的Z轴Offset值是否准确设置。