5OM-1285-008_w.pdf - 第45页
安全 にお 取扱 いいただくために Tg 1 168 -ID-GU 安全 - 34 据付け時の注意 設置環境が悪いと、装置の性能が十分に発揮されなかったり、故障や事故の原因 にもなります。 設置の際には、以下に示す各項目にしたがって正しい環境を確保してください。 装置の移設を予定されている場合は、あらかじめ株式会社日立ハイテクノロジー ズの営業部門または販売代理店にご相談ください。 装置の質量を支える強度が保持できる場所であること。…
安全にお取扱いいただくために
Tg1168-ID-GU
安全 -33
5. 正しくお使いいただくための注意事項
設置条件
本装置をより安全にお使いいただくために、以下の設置条件を守ってください。
•
過電圧カテゴリー ： カテゴリーⅢ
•
汚染度 ： 3
過電圧カテゴリー（Overvoltage Category）とは、装置が直接接続されてい
る電 源受電部において発生する衝撃電圧の大きさの度合いを表します。
カテゴリーⅢ ： 大きな過電圧の発生が予想されるトランスの一次回路、
一般工場の配電盤に永続的に接続される装置です。
設置カテゴリー Installation Category から過電圧カテゴリー
Overvoltage Category に用語が変更されました。
汚染度（Pollution Degree）とは、装置が使用される環境の汚染度合いを表
します。
汚染度 3 ： 汚染となる導電物質があり、それらが装置への影響をもた
らすと考えられる（たとえば、一般工場など）環境で、本
装置が使用されることを意味します。
ノート
0612-006
安全にお取扱いいただくために
Tg1168-ID-GU
安全 -34
据付け時の注意
設置環境が悪いと、装置の性能が十分に発揮されなかったり、故障や事故の原因
にもなります。
設置の際には、以下に示す各項目にしたがって正しい環境を確保してください。
装置の移設を予定されている場合は、あらかじめ株式会社日立ハイテクノロジー
ズの営業部門または販売代理店にご相談ください。
装置の質量を支える強度が保持できる場所であること。
装置の据付け場所は 1 階を推奨します。
1 階以外に据付ける場合は、株式会社日立ハイテクノロジーズの
営業部門または販売代理店にご相談ください。
著しい振動がない場所であること。
周囲温度が 20
±
10
°
C であること。
また、湿度が 30 ～ 80% の範囲にあり、結露しない場所であること。
装置を現在の装置表面温度より高い温度の環境に搬入 / 搬出する場合は、以下の
条件により結露するおそれがあります。
結露すると、装置が故障する原因となりますので注意してください。
結露の条件
“搬入 / 搬出の湿度 (%)”を基準にすると、“搬入 / 搬出先の温度と装置表面温度
との差”が、以下の値以上になると結露のおそれがあります。
搬入 / 搬出の湿度 (%) 搬入 / 搬出先の温度と装置表面温度との差
80 3
°
C 以上
70 6
°
C 以上
60 8
°
C 以上
50 10
°
C 以上
40 14
°
C 以上
30 18
°
C 以上
ノート
0612-006
安全にお取扱いいただくために
Tg1168-ID-GU
安全 -35
電気ノイズなどが入らない場所であること。
装置が誤作動しないように、他設備などにノイズ発生防止などの処理を施し
てください。
可燃性ガスまたは腐食性ガスが周囲にない場所であること。
油煙またはほこりがない場所であること。
水準器を使用して、水平に設置できる場所であること。
メンテナンスしやすいように、周囲に障害物がないこと。
前後工程におけるコンベアの状況および装置の状況により、基板供給部また
は基板排出部のコンベア開口部が大きい場合には、隙間ができないように、
お客様において処置を施してください。
供給電源について
本装置に供給する電源は、以下の容量であることを確認してください。
•
電圧 ： 3 相 AC 200V
±
20V
•
皮相電力 ： 約 11.5 kVA
電圧が変動したり、電源ラインにノイズが重なる場合、本装置に悪影響を及ぼす
ばかりでなく、装置が誤動作して事故の原因になることがあります。
他設備などにノイズ発生防止などの処置を施してください。
1 次電源の準備および接続は、貴社にて対応願います。
•
装置の一次電源引き込み部への接続は、はじめに接地ライン (PE) を接続し
てください。
•
接地 (PE) は、D 種接地工事 ( 旧第 3 種接地工事 ) 以上としてください。
•
接地ラインは、他のケーブル (L1、L2、L3) よりも余裕をもった長さで接続
してください。
0612-001