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第 5 巻： 資料
本装置のサービスを行う方を対象に、エア配管図、電気回路図などの各
種の資料を掲載しています。
［記載内容］ ご確認事項、安全上のご注意、エア配管図、部品配置図、電気回路
図など
部品ライブラリ
部品ライブラリデータの説明と作成などを説明しています。
まず、この取扱説明書の巻頭にある注意事項と、 ｢ 安全にお取扱いいただくため
に ｣ の項を必ずお読みください。
本取扱説明書で使用しているアイコンについて
重要注意事項や使用上の制限事項を示します。
装置を正しくお使いいただくための説明を示します。
参照先を示します。
操作および作業の手順を示します。
｢XY ビーム部 ｣ ｢ カバー部 ｣ など本書で使用する基本的な用語の定義は、第 1 巻
の巻末にある用語集をご覧ください。
ノート
注 意
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ご注意
製品の保証について
当社は、本装置につきまして、取扱説明書に記載の内容に従ってご使用いただい
た場合に限り、取扱説明書に記載した仕様に基づき、以下の保証をいたします。
(1) 保証の範囲
本装置が当社の製造上の欠陥により故障した場合、無償で装置の修理のみを
行います。
(2) 保証期間
据付けから起算して 1 年以内とします。
(3) 保証除外項目
以下の場合は、保証期間内であっても保証除外とさせていただきます。
(a) 当社が定めた設置場所基準に適合しない場所での使用による故障の場
合。
(b) 当社の指定する電源（電圧、周波数）を使用しなかった場合、および電
源の異常による故障の場合。
(c) お客様から供給されるエアに混入した不純物などにより配管の腐食、劣
化が起こった場合。
(d) 腐食性の強いガスが空気中に含まれていることにより、電気回路の腐食
や、光学素子の劣化が起こった場合。
(e) 当社が供給していないハードウェア、ソフトウェアまたは補用品の使用
による故障の場合。
(f) お客様の不適切なお取扱い、あるいは保守による故障の場合。
(g) 当社の定める保守サービス会社以外の者により保守修理された場合。
(h) 据付け後、移動または輸送によって生じた故障。
(i) 当社が認めていない分解、改造または移設を行った場合。
(j) 火災、地震、風水害、落雷、騒動、暴動、犯罪、テロ行為、戦争、放射
能汚染、有害物質による汚染およびその他の不可抗力的事故による故障
の場合。
(k) コンピュータウィルスによる故障の場合。
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