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安全 にお 取扱 いいただくために Tg 1 168 -ID-GU 安全 - 36 エアについて 本装置には、空気圧が 0.45 ～ 0.69 MPa (4.6 ～ 7 kgf/cm 2 ) で、水分、油分およ び塵埃 ( ダスト ) を含まない空気 ( ドライクリーンエア ) を供給してください。 水分などを多く含むエアを使用すると、装置内部にそれらが付着し、正常な動作 をしなくなるおそれがあります。 ドライクリーンエアとは 水 分 …
安全にお取扱いいただくために
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安全 -35
電気ノイズなどが入らない場所であること。
装置が誤作動しないように、他設備などにノイズ発生防止などの処理を施し
てください。
可燃性ガスまたは腐食性ガスが周囲にない場所であること。
油煙またはほこりがない場所であること。
水準器を使用して、水平に設置できる場所であること。
メンテナンスしやすいように、周囲に障害物がないこと。
前後工程におけるコンベアの状況および装置の状況により、基板供給部また
は基板排出部のコンベア開口部が大きい場合には、隙間ができないように、
お客様において処置を施してください。
供給電源について
本装置に供給する電源は、以下の容量であることを確認してください。
•
電圧 ： 3 相 AC 200V
±
20V
•
皮相電力 ： 約 11.5 kVA
電圧が変動したり、電源ラインにノイズが重なる場合、本装置に悪影響を及ぼす
ばかりでなく、装置が誤動作して事故の原因になることがあります。
他設備などにノイズ発生防止などの処置を施してください。
1 次電源の準備および接続は、貴社にて対応願います。
•
装置の一次電源引き込み部への接続は、はじめに接地ライン (PE) を接続し
てください。
•
接地 (PE) は、D 種接地工事 ( 旧第 3 種接地工事 ) 以上としてください。
•
接地ラインは、他のケーブル (L1、L2、L3) よりも余裕をもった長さで接続
してください。
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エアについて
本装置には、空気圧が 0.45 ～ 0.69 MPa (4.6 ～ 7 kgf/cm
2
) で、水分、油分およ
び塵埃 ( ダスト ) を含まない空気 ( ドライクリーンエア ) を供給してください。
水分などを多く含むエアを使用すると、装置内部にそれらが付着し、正常な動作
をしなくなるおそれがあります。
ドライクリーンエアとは
水 分 ： 露点 -17
°
C 以下 ( 大気圧 )
油 分 : 0.1mg/m
3
以下 (ANR)
ダスト : 固形物 0.01
µ
m 以下
データのバックアップについて
装置の故障や誤操作などで、データが使えなくなる場合があります。 万一に備え
て、ハードディスクの内容をネットワークターミナル ( オプション ) に定期的
にバックアップしてください。
コンピュータウィルスについて
プログラムやデータが急に壊れたり、予測できない動作をしたり、操作パネルに
異常な画面が表示されるときは、コンピュータがコンピュータウィルスに感染し
た可能性があります。
コンピュータウィルスとは、コンピュータに密かに侵入し、コンピュータを勝手
に動かしたり、データを破損する悪質なプログラムのことです。また、そのよう
なコンピュータウィルスを除去するプログラムをワクチンプログラムといいま
す。
コンピュータウィルスが感染したコンピュータからの通信やコンピュータウイル
スに感染した記録媒体を介してコンピュータウィルスが感染することがありま
す。
装置内蔵のコンピュータがコンピュータウィルスに感染する恐れのある場合は、
ワクチンプログラムでチェックしてください。ただし、ワクチンプログラムの種
類によって、コンピュータのウィルスを取り除くことができないことがあります。
このような場合には、事前にデータのバックアップを必ずとっておいてください。
ノート
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停電について
停電または落雷などによる電源の瞬時電圧低下により、本装置に内蔵されている
コンピュータが故障したり、基本ソフトウェア、応用ソフトウェアまたはデータ
が破損することがあります。電源の瞬時電圧低下対策としては、交流無停電電源
装置などを使用されることをお勧めします。
本装置内蔵のコンピュータについて
本装置には、本装置内部の各機構の制御、各種データの保存、ユーザインター
フェースの実現などのためにコンピュータが内蔵されています。
本装置の電源を切る場合、コンピュータのアクセス動作中に電源が切られると、
コンピュータが故障したり、記憶されているデータやソフトウェアが破壊される
ことがあります。
本装置の電源を切る方法は、“第 1 巻 : ガイド 2 章 1.4.2 電源の遮断”をご覧
ください。
装置を長時間停止した場合、立上げ時の注意
装置を長時間停止した場合は、装置の立上げをスムーズに行うため、30 分くら
いの慣らし運転を行ってください。
慣らし運転については、“第 1 巻 : ガイド 2 章 5. 慣らし運転”を参照し
てください。
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