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NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00 搬送马达异常 LNB 命令接收超时 错误 信息 故障排除 2-1-3 单一停止错误 41 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 等待读取外置基板条形码超 时。 ( 从 LNB 接收命令发生了超 时。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认 LNB 和机器间的通信状 态。 2) 请确认机器间的通信设定。 3) 请确认异常发生时的状态并联系本 公司 21020 基板搬送时检测到马达的驱 动…
NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00
上位系统检测错误
LNB命令发送错误
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
读取基板条形码要求发生了
发送错误。
(向LNB发送命令发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认LNB和机器间的通信状态。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21018
外置基板条形码的读取确认
发生了接收错误。
(从LNB接收命令发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认LNB和机器间的通信状态。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21019
2-1-3-79
NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00
搬送马达异常
LNB命令接收超时
错误
信息
故障排除
2-1-3
单一停止错误 41
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
等待读取外置基板条形码超
时。
(从LNB接收命令发生了超
时。)
请实施其中某个对策。
1)请确认LNB和机器间的通信状态。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21020
基板搬送时检测到马达的驱
动错误。
(搬送马达发生了异常。)
请实施其中某个对策。
1)请确认搬送马达。
2)请确认安全盖以及紧急停止开关的
状态。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21021
2-1-3-80
NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00
转印台材料用完
基板吸着OFF超时错误
基板吸着ON超时错误
基板吸着错误
基板停止位置传感器异
常
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬入时超限传感器比基
板停止传感器先检测为打开。
(基板的停止位置传感器发生
了错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检测
传感器的状态。
2)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21022
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21023
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21024
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21025
转印台的材料不足。
(发生了单一停止错误。)
请向转印台供给材料
22099
2-1-3-81