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NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00 基板吸着错误 基板停止位置传感器异 常 搬送马达异常 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 基板搬送时检测到马达的驱 动错误。 ( 搬送马达发生了异常。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认搬送马达。 2) 请确认安全盖以及紧急停止开关的 状态。 3) 请确认异常发生时的状态并联系本 公司 21021 基板搬入时超限传感器比基 板停止传感器先检测为打开。 ( 基板的停止位置传感器发生…
NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00
LNB命令接收超时
上位系统检测错误
错误
信息
故障排除
2-1-3
单一停止错误 47
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
外置基板条形码的读取确认
发生了接收错误。
(从LNB接收命令发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认LNB和机器间的通信状态。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21019
等待读取外置基板条形码超
时。
(从LNB接收命令发生了超
时。)
请实施其中某个对策。
1)请确认LNB和机器间的通信状态。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21020
2-1-3-92
NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00
基板吸着错误
基板停止位置传感器异
常
搬送马达异常
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬送时检测到马达的驱
动错误。
(搬送马达发生了异常。)
请实施其中某个对策。
1)请确认搬送马达。
2)请确认安全盖以及紧急停止开关的
状态。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21021
基板搬入时超限传感器比基
板停止传感器先检测为打开。
(基板的停止位置传感器发生
了错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检测
传感器的状态。
2)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21022
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21023
2-1-3-93
NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00
托盘位置补正计测错误
没有转印注射头
拼接编带检出停止
基板吸着OFF超时错误
基板吸着ON超时错误
错误
信息
故障排除
2-1-3
单一停止错误 48
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21024
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21025
拼接编带检出。
(发生了单一停止错误。)
请确认拼接编带
22120
注射头没有被正确安装。
(发生了单一停止错误。)
请确认注射头的安装情况
22121
托盘位置补正计测失败了。
(发生了单一停止错误。)
请实行校准第4工程托盘吸着位置1以
及吸着位置2
22122
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