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NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00 基板搬出后传感器异常 基板搬出错误 基板搬入错误 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 基板搬入时超时。 ( 发生了基板搬入错误。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认传送带上的基板和基板检出 传感器的状态。 2) 请确认传送带的宽度 21004 基板搬出时超时。 ( 发生了基板搬出错误。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认传送带上的基板和基板检出 传感器的状态。 2) 请确认传…
NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00
基板连结检出错误
传送带任务处理错误
品种名不一致
基板搬送错误
延时补正识别错误
错误
信息
故障排除
2-1-3
单一停止错误 19
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
由于延时补正的标志识别而
发生了错误。
(发生了单一停止错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认补正标记表面是否脏污。脏
污时请清扫。
2)请确认贴装头相机是否亮灯。灯不
亮时请联系本公司
22003
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
22004
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21001
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21002
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21003
2-1-3-36
NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00
基板搬出后传感器异常
基板搬出错误
基板搬入错误
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬入时超时。
(发生了基板搬入错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度
21004
基板搬出时超时。
(发生了基板搬出错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度
21005
基板搬出后停止位置传感器
打开了。
(发生了基板搬出后传感器异
常。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度
21006
2-1-3-37
NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00
基板定位错误
传送带的越限传感器异
常
基板有错误
后工序要求OFF的超时
错误
错误
信息
故障排除
2-1-3
单一停止错误 20
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板排出后后工序机器的基
板要求信号在设定时间内没
有关闭。
(发生了后工序要求关闭等待
超时。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认基板排出等待时间(要求关
闭)的设定值
21007
基板搬入时基板停止位置传感
器已经打开。
(基板搬入时检测有基板。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态
21008
基板搬入时由于越限检出传
感器没有打开。
(基板搬入时越限传感器发生
异常。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态
21009
基板搬入时由于越限检出停
止位置传感器关闭了。
(基板搬入时发生了基板位置
决定错误。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态
21010
2-1-3-38