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NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00 基板信息通信错误 基板信息交接错误 错误 信息 故障排除 2-1-3 单一停止错误 21 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 基板搬送时基板信息的交接 错误。 ( 基板信息的交接发生了错 误。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认传送带上的基板位置。 2) 请确认机器间的通信设定。 3) 请确认异常发生时的状态并联系本 公司 21015 基板搬出时基板信息的移动 等待发生了超时。 …
NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00
机器之间搬送同期不一
致
中间基板要求信号ON的
超时错误
基板搬入等待超时错误
基板定位超时错误
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21011
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21012
机器间的中间待机搬送时后
工序机器的基板要求信号没
有打开。
(机器间的中间待机搬送发生
了超时)
请实施其中某个对策。
1)请确认机器间的同步确认信号和中
间待机确认信号的状态。
2)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21013
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21014
2-1-3-39
NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00
基板信息通信错误
基板信息交接错误
错误
信息
故障排除
2-1-3
单一停止错误 21
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬送时基板信息的交接
错误。
(基板信息的交接发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21015
基板搬出时基板信息的移动
等待发生了超时。
(基板信息的通信发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21016
2-1-3-40
NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00
LNB命令发送错误
基板信息确认错误
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬送时不能进行基板信
息的确认。
(基板信息的确认发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21017
读取基板条形码要求发生了
发送错误。
(向LNB发送命令发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认LNB和机器间的通信状态。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21018
2-1-3-41