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NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00 转印台材料用完 基板吸着 OFF 超时错误 基板吸着 ON 超时错误 基板吸着错误 基板停止位置传感器异 常 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 基板搬入时超限传感器比基 板停止传感器先检测为打开。 ( 基板的停止位置传感器发生 了错误。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认传送带上的基板和基板检测 传感器的状态。 2) 请确认异常发生时的状态并联系本 公司 21022 基板没有被…
NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00
搬送马达异常
LNB命令接收超时
错误
信息
故障排除
2-1-3
单一停止错误 41
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
等待读取外置基板条形码超
时。
(从LNB接收命令发生了超
时。)
请实施其中某个对策。
1)请确认LNB和机器间的通信状态。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21020
基板搬送时检测到马达的驱
动错误。
(搬送马达发生了异常。)
请实施其中某个对策。
1)请确认搬送马达。
2)请确认安全盖以及紧急停止开关的
状态。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21021
2-1-3-80
NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00
转印台材料用完
基板吸着OFF超时错误
基板吸着ON超时错误
基板吸着错误
基板停止位置传感器异
常
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬入时超限传感器比基
板停止传感器先检测为打开。
(基板的停止位置传感器发生
了错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检测
传感器的状态。
2)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21022
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21023
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21024
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21025
转印台的材料不足。
(发生了单一停止错误。)
请向转印台供给材料
22099
2-1-3-81
NPM-DX EJM8DC-MB-02T-00
基板弯曲计测错误
吸嘴条形码识别错误发
生
注射头转印材料用完
转印材料自动供给错误
错误
信息
故障排除
2-1-3
单一停止错误 42
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
可考虑以下某种原因。
1)注射头的顶端堵塞。
2)注射头的转印材料不足。
3)注射头没有被正确安装。
(发生了单一停止错误。)
请执行与原因相对应的号码的对策。
1)请确认注射头的顶端。
2)请向注射头供给转印材料。
3)请确认注射头的安装情况
22100
<对策>请向注射头供给转印
材料
(<原因>注射头的转印材料不
足。)
22101
交换器里面用于生产的吸嘴,
和生产数据登录的不一致。
(发生了单一停止错误。)
请确认交换器里面的吸嘴的条形码
22102
基板过度弯曲。
(发生了单一停止错误。)
请确认基板
22103
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