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MEMO

100%1 / 346
Key No. PART No. PART NAME Q’ty
REMARKS
NOTE
Fig. B1-2
0912-002
161 221HA104 WASHER 4 409000400C-011
Fig. B1
UNIT-1
Fig. B1
TABLE
SIGMA-P4
MEMO
Fig. B1-3
下テーブル
Lower Table
217
206
206
206
209
209
209
207
208
205
216
216
216
216
217
220
220
220
216
214
215
213
214
215
204
204
204
218
219
218
219
218
219
218
219
209
220
204
217
0912-002
Fig. B1
テーブル、基板チャック部
TABLE, PCB CHUCK SECTION
UNIT-1
Fig. B1
TABLE