P-311-003.pdf - 第56页
Fig. B1-3 下テーブル Lower T able 217 206 206 206 209 209 209 207 208 205 216 216 216 216 217 220 220 220 216 214 215 213 214 215 204 204 204 218 219 218 219 218 219 218 219 209 220 204 217 0912-002 Fig. B1 テーブル、基板チャック部 T ABL…
MEMO
Fig. B1-3
下テーブル
Lower Table
217
206
206
206
209
209
209
207
208
205
216
216
216
216
217
220
220
220
216
214
215
213
214
215
204
204
204
218
219
218
219
218
219
218
219
209
220
204
217
0912-002
Fig. B1
テーブル、基板チャック部
TABLE, PCB CHUCK SECTION
UNIT-1
Fig. B1
TABLE
Key No. PART No. PART NAME Q’ty
REMARKS
NOTE
204 222H0033 CAM_FOLLOWER 4 1090004004-004
205 211DE374 PLATE 1 1090004004-005
206 222J0230 BUSH_BALL 3 1090004004-006
207 211DE883 PLATE 1 1090004004-007
208 213F0028 CAM_BASE 1 1090004004-008
209 211G4241 BLOCK 4 1090004004-009
213 221AA030 ROHS_HEX-SCT 2 1090004004-013
214 221HA005 WASHER 4 1090004004-014
215 221HA105 WASHER 4 1090004004-015
216 221AA031 ROHS_HEX-SCT 10 1090004004-016
217 221AA043 ROHS_HEX-SCT 12 1090004004-017
218 221BA031 BOLT_HEX 4 1090004004-018
219 221FA011 NUT_HEX 4 1090004004-019
220 221FA013 NUT_HEX 4 1090004004-020
Fig. B1
1102-003
Fig. B1-3
UNIT-1
Fig. B1
TABLE
SIGMA-P4