NXT3快速参考手册·预防保养篇.pdf - 第89页
84 每8,000小时一次（1年） LCR 检测装置 更换测定端子 更换测定端子 安装测定端子时需用到塞尺。 关于详细内容，请参考机械手册内的「5.预防保养」-「LCR检测单元的测定端子的更换」章节。 测定端子 请先拆除螺栓，然后再更换测定端子。 1. 请关闭气阀。 2. 请拆除盖板。
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每8,000小时一次（1年）
离子发生器
更换放电针座更换放电针座
注意
・开始作业之前请先关闭总电源开关。
・请暂停供气。
1. 请拆除喷嘴。
放电针座
请更换放电针座。
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每8,000小时一次（1年）
LCR检测装置
更换测定端子更换测定端子
安装测定端子时需用到塞尺。
关于详细内容，请参考机械手册内的「5.预防保养」-「LCR检测单元的测定端子的更换」章节。
测定端子
请先拆除螺栓，然后再更换测定端子。
1. 请关闭气阀。 2. 请拆除盖板。
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每8,000小时一次（1年）
料盘单元-LT2/LT, LTC
清洁料盘高度检测传感器清洁料盘高度检测传感器
上部料盘箱部和下部料盘箱部上的料盘高度检测传感器分别固定在支架上。
料盘单元-LT2/LT：上部料盘箱部4处、下部料盘箱部4处
料盘箱-LTC：上部料盘箱部2处、下部料盘箱部2处
各传感器的连接方法请参照「NXTⅢ机械手册」的「5.预防保守」
的对象单元「清扫料盘高度检测传感器」。
料盘高度检测传感器
请用棉棒擦拭投光面和受光面。
料盘单元-LT２/LT
料盘单元-LTC
需要预先从机器上取下料盘单元-LT2/LT/LTC。
详细内容请参照《NXTIII 机械手册》「4.基本操作」。