07_Parts List_N7203A339B00.pdf - 第184页
32 マスククリーニング ユニット制 御 :DSP M ask Cl eani n g Unit (H) :DS P パーツレイアウト Ki t N o . キット 品番 Kit N am e キット名称 N6 1009 437 2AA ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LAYOUT Section No. - - S171 ( KN610094372AA-01 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
31-C
マスククリーニング(F):DSP
Mask Cleaning(F):DSP
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610092219AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PLATE
2
1 N210116887AC
PLATE
2
2 N210132050AB
DUCT
1
3 N210116892AC
NOZZLE
1
4 N210116893AB
PLATE
1
5 N210126692AB
JOINT
2
6 KXF0DZ4ZA00 KQ2U04-00
JOINT
4
7 N431PL4M3M PL4-M3M
LINEAR-WAY
2
8 N510050807AA PU090045TRK1-02PCT
JOINT
1
9 N510015459AA KQ2V16-04S
CYLINDER
2
10 N401CUJB-G84 CUJB10-10D
BOLT
12
11 N510017516AA
SSS 003 Hexagon socket button head screw M4X10-10.9 A2J (Trivalent)
SPRING-PIN
4
12 N510037714AA 1010801-30008
SENSOR
1
13 N510048944AA TFP-F-2M
BRACKET
1
14 N210126690AB
BRACKET
1
15 N210126689AB
PLATE
1
16 N210132059AA
PLATE
1
17 N210132060AA
DOG
1
18 N210132061AA
JOINT
2
19 N210132062AA
BRACKET
1
20 N210132063AA
BOLT
3
21 N510030175AA SSH-M4X6
WASHER
4
22 N510027797AA 87FWSSB-D6.0-V3.0-T6.0
SENSOR(220mm)
1
23 N610113889AA
A
BOLT
4
24 N510000313AA
SSS 003 Hexagon socket button head screw M3X4-A2-70
BOLT
4
25 N510017517AA
SSS 003 Hexagon socket button head screw M4X12-10.9 A2J (Trivalent)
SPACER
4
26 KXF0AQMAA00 CU-406
SCREW
2
27 N510024962AA 87ANBN4-15
PIN
2
28 KXF0DZ24A00 SSTEH5.5A
SENSOR(180mm)
1
29 N610113940AA
A
S170
--
( KN610092219AA-11-3 )
32
マスククリーニングユニット制
御
:DSP
Mask Cleaning Unit (H):DSP
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610094372AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S171
( KN610094372AA-01 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
32
マスククリーニングユニット制
御
:DSP
Mask Cleaning Unit (H):DSP
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610094372AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PCB
1
1 N610096014AA PNF0A8-AA
S172
--
( KN610094372AA-01 )