07_Parts List_N7203A339B00.pdf - 第195页
Ref No. Remark s R 1 Q'ty 34-C マスククリーニング (R):DSP M ask Cl eani ng(R) :DSP ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit N o . キット品 番 Kit Name キット名称 N610093214AA Part Name 備 考 ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LIST Section No. R 3 PLATE 2…
34-C
マスククリーニング(R):DSP
Mask Cleaning(R):DSP
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610093214AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S181
( KN610093214AA-11-3 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
34-C
マスククリーニング(R):DSP
Mask Cleaning(R):DSP
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610093214AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PLATE
2
1 N210116887AC
PLATE
2
2 N210132050AB
DUCT
1
3 N210116892AC
NOZZLE
1
4 N210116893AB
PLATE
1
5 N210126693AC
JOINT
2
6 KXF0DZ4ZA00 KQ2U04-00
JOINT
4
7 N431PL4M3M PL4-M3M
LINEAR-WAY
2
8 N510050807AA PU090045TRK1-02PCT
JOINT
1
9 N510015459AA KQ2V16-04S
CYLINDER
2
10 N401CUJB-G84 CUJB10-10D
BOLT
12
11 N510017516AA
SSS 003 Hexagon socket button head screw M4X10-10.9 A2J (Trivalent)
SPRING-PIN
4
12 N510037714AA 1010801-30008
SENSOR
1
13 N510048944AA TFP-F-2M
BRACKET
1
14 N210126690AB
BRACKET
1
15 N210132133AA
PLATE
1
16 N210132059AA
PLATE
1
17 N210132060AA
DOG
1
18 N210132192AB
JOINT
2
19 N210132062AA
BRACKET
1
20 N210132063AA
BOLT
3
21 N510030175AA SSH-M4X6
WASHER
4
22 N510027797AA 87FWSSB-D6.0-V3.0-T6.0
SENSOR(180mm)
2
23 N610113940AA
A
BOLT
4
24 N510000313AA
SSS 003 Hexagon socket button head screw M3X4-A2-70
BOLT
4
25 N510017517AA
SSS 003 Hexagon socket button head screw M4X12-10.9 A2J (Trivalent)
SPACER
4
26 KXF0AQMAA00 CU-406
SCREW
2
27 N510024962AA 87ANBN4-15
PIN
2
28 KXF0DZ24A00 SSTEH5.5A
S182
--
( KN610093214AA-11-3 )
35-A
溶剤
供
給
ユニット(R):DSP
Solvent supply unit(R):DSP
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610108531AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S183
( KN610108531AA-05-1 )