07_Parts List_N7203A339B00.pdf - 第306页
28 真 空ポンプユニット 制 御 :DSP Va cu um P um p Unit ( H): DS P パーツレイアウト Ki t N o . キット 品番 Kit N am e キット名称 N6 1009 438 0AA ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LAYOUT Section No. - - O83 ( KN610094380AA-02 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
27
真
空ポンプユニット:DSP
Vacuum Pump Unit:DSP
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610092232AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BASE
1
1 N210120762AC
PLATE
2
2 N210123419AB
PLATE
1
4 N210133092AA
BRACKET
1
5 N210133152AA
COVER
2
6 N210129458AA
BRACKET
2
7 KXFB0056A00
BRACKET
1
8 N210123361AB
PUMP
1
9 N510012550AA
S
KHA400-106-G1(KB020)
JOINT
1
10 KXF0E16FA00 KQ2VD12-03S
BOLT
4
11 KXF0DY0ZA00 ME-25
SPACER
8
12 N510037924AA ASF-540E
JOINT
2
13 KXF0DWRNA00 KQ2L12-02S
JOINT
2
14 N431KQ2Z-330 KQ2ZD06-02S
JOINT
2
15 KXF0DZPLA00 KQ2L04-06
SILENCER
2
16 KXF00WEAA00 AN203-02
FILTER
2
21 N510048800AA VFB20-12-12
JOINT
4
22 N431PLJ12 PLJ12
SWITCH
2
23 N510050112AA ISE30A-C4L-N-MB
WASHER
1
24 N210128737AA
Valve
2
25 N610026797AB
BOLT
2
26 N510017536AA
SSS 003 Hexagon socket button head screw M4X8-10.9 A2J (Trivalent)
O82
--
( KN610092232AA-05 )
28
真
空ポンプユニット制
御
:DSP
Vacuum Pump Unit (H):DSP
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610094380AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O83
( KN610094380AA-02 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
28
真
空ポンプユニット制
御
:DSP
Vacuum Pump Unit (H):DSP
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610094380AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
TERMINAL-BLOCK
1
1 KXFP5HSAA00
S
BTBH30C4
O84
--
( KN610094380AA-02 )