07_Parts List_N7203A339B00.pdf - 第185页

Ref No. Remark s R 1 Q'ty 32 マスククリーニング ユニット制 御 :DSP M ask Cl eani n g Unit (H) :DS P ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit N o . キット品 番 Kit Name キット名称 N610094372AA Part Name 備 考 ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LIST Section No. …

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32
マスククリーニングユニット制
御
:DSP
Mask Cleaning Unit (H):DSP
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610094372AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S171
( KN610094372AA-01 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
32
マスククリーニングユニット制
御
:DSP
Mask Cleaning Unit (H):DSP
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品　　名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610094372AA
Part Name
備　　　考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PCB
1
1 N610096014AA PNF0A8-AA
S172
--
( KN610094372AA-01 )
33-A
溶剤
供
給
ユニット(F):DSP
Solvent supply unit(F):DSP
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610108530AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S173
( KN610108530AA-05-1 )