07_Parts List_N7203A339B00.pdf - 第186页
33-A 溶剤 供 給 ユニット(F):DSP Solven t supply u nit(F) :DSP パーツレイアウト Ki t N o . キット 品番 Kit N am e キット名称 N6 1010 853 0AA ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LAYOUT Section No. - - S173 ( KN610108530AA-05-1 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
32
マスククリーニングユニット制
御
:DSP
Mask Cleaning Unit (H):DSP
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610094372AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PCB
1
1 N610096014AA PNF0A8-AA
S172
--
( KN610094372AA-01 )
33-A
溶剤
供
給
ユニット(F):DSP
Solvent supply unit(F):DSP
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610108530AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S173
( KN610108530AA-05-1 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
33-A
溶剤
供
給
ユニット(F):DSP
Solvent supply unit(F):DSP
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610108530AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
NOZZLE
1
1 N210116894AB
BRACKET
1
2 N210116904AC
BRACKET
1
3 N210116905AC
COVER
1
4 N210134123AB
PLATE
1
5 N210126741AB
BOLT
5
6 N510000329AA
Hexagon socket button head screw M4X10 SUS304
PLUG
1
7 KXF0AP5AA00 SP2001
BOLT
2
8 N510017618AA
Hexagon socket Flat head bolt M4X15-10.9 A2J (Trivalent)
CAP
2
9 N510024546AA CP-328-B-4-G hole process
JOINT
1
10 N510001107AA L4N6X4-PT1/8ST
S174
--
( KN610108530AA-05-1 )