07_Parts List_N7203A339B00.pdf - 第307页
Ref No. Remark s R 1 Q'ty 28 真 空ポンプユニット 制 御 :DSP Va cu um P um p Unit ( H): DS P ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit N o . キット品 番 Kit Name キット名称 N610094380AA Part Name 備 考 ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LIST Section No. R 3 …
28
真
空ポンプユニット制
御
:DSP
Vacuum Pump Unit (H):DSP
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610094380AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O83
( KN610094380AA-02 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
28
真
空ポンプユニット制
御
:DSP
Vacuum Pump Unit (H):DSP
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610094380AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
TERMINAL-BLOCK
1
1 KXFP5HSAA00
S
BTBH30C4
O84
--
( KN610094380AA-02 )
29
基
板吸着
ボックス:DSP
Board Vacuum Box:DSP
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610094344AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O85
( KN610094344AA-00 )