07_Parts List_N7203A339B00.pdf - 第308页
29 基 板吸着 ボックス:DSP Bo ar d Vac uum Bo x:DS P パーツレイアウト Ki t N o . キット 品番 Kit N am e キット名称 N6 1009 434 4AA ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LAYOUT Section No. - - O85 ( KN610094344AA-00 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
28
真
空ポンプユニット制
御
:DSP
Vacuum Pump Unit (H):DSP
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610094380AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
TERMINAL-BLOCK
1
1 KXFP5HSAA00
S
BTBH30C4
O84
--
( KN610094380AA-02 )
29
基
板吸着
ボックス:DSP
Board Vacuum Box:DSP
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610094344AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O85
( KN610094344AA-00 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
29
基
板吸着
ボックス:DSP
Board Vacuum Box:DSP
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610094344AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BLOCK
1
1 N210119952AA
PLATE
1
2 N210119953AA
PIN
2
3 N986MMS410 MMS4-10
JOINT
3
4 KXF02AZAA00 KQH06-01S
O86
--
( KN610094344AA-00 )