Schmtic_NXT_03_.pdf - 第135页
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BKT
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AJ
06913
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VACUUM
PUMP
CONTROL
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品 名
定 格
個 数
記 号
形 式
力
-
MANUFACTURER
No
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NAME
SYMBOL
TYPE
RATING
富士電機
心八
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PARTS
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UNIT
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M
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W
1
4
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6
心 夕 工
-
乂 基 板
INTERFACE
BOARD
1
MS
1
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2
/
3
CN
3
+
24
VM
1
X
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2
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4
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丫
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GM
7
M
14
-
3
8
9
10
SHIELD
NAME
TYPE
配置図
NXT
PARTS
ARRANGEMENT
TITLE
VACUUM
PUMP
CONTROL
BKT
DRAWING
No
.
Vi
RS
00504

