Schmtic_NXT_03_.pdf - 第207页

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VACUUM

PUMP

BOX

2

^

K

-

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4

MX

-

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(

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連結

L

^

使用

1

^

場

When

using

it

,

connecting

2

M

base

with

4

M

base

□

2

3

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4

2

M

BASE

2

M

BASE

4

M

BASE

NXT

(

2

M

^

-

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—

—

2

M

'

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又

—

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M

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—

又

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4

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1

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夕

B

X

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八

—

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NXT

(

2

M

BASE

<

-

>

2

M

BASE

<

--

>

4

M

BASE

)

HARNESS

CONNECTION

PICTURE

基板搬送方向

panel

transfer

direction

NXT

4

MX

-

又

NXT

4

M

BASE

IKK

<

1

-

i

^

i

-

Jl

/

5

-

8

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5

-

8

赋

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-

7

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2

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2

'

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2

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3

*

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-

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fuse

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-

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BKT

MS

3

CN

3

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inverter

BKT

S

^

-

RH

214

U

心八

-

夕

3

KT

MS

1

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Inverter

BIT

壤

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'

-

夕

BKT

MS

3

CN

1

Extension

inverter

BKT

RH

2142

*

0

/

(

-

夕

3

KT

MS

1

CN

1

Inverter

B

[

T

RH

)

\

88

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:

-

^

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l

CN

28

A

CN

27

A

CN

28

A

RH

2012

*

RH

2012

氷

j

-

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■

BOX

BJCBCN

18

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2

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CN

27

B

CN

27

B

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4

CN

27

B

分

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>

c

RH

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CN

28

A

夕

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-

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1

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4

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^

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-

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—

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1

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-

^

^

le

leit

side

cover

^

-

U

~

RH

0527

X

RH

1691

*

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:

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卜

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-

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side

RH

0528

*

RHI

692

X

RH

0

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15

*

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/

F

C

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/

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/

F

CN

28

I

/

F

CN

27

/

\

to

l

/

F

CN

27

I

/

F

CN

28

/

\

to

I

/

F

0128

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m

龜

<

oFW

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I

/

FI

CN

27

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5

CH

6

BRCN

1

1

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3

I

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_

y

u

^

2

,

~

I

HUB

RH

0715

*

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CN

27

©

CH

5

RH

1187

太

RH

0558

X

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*

wmRH

0559

^

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5

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RH

0584

*

,

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：

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CN

27

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1698

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<

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*

remove

RH

0584

X

,

connect

RH

1698

t

RH

1698

來

RH

BLCN

2

BRCN

2

BLCN

2

BRCN

2

BRCN

2

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7

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RHI

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*

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C

7

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>

[

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RH

097

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I

RH

0559

X

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3

出荷時接続済

RH

0258

*

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^

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BRCN

3

5 8

*

%

0

勺

H

0 2

*

BLCN

3

BLCN

3

BRCN

3

RH

0583

*

Previ

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side

097

U

©

I

/

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_

F

©

connected

RH

0583

*

I

\

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si

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RH

严

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-

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I

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F

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/

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F

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cable

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(

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$

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ILCN

4

iLCN

4

出荷時接続済

connected

RHI

28

M

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63

*

■

:

*

RH

0583

*

OBRCN

3

(

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'

D

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RH

0560

*

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BRCN

3

(

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3

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RH

0

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6

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BRCN

3

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RH

11

B

2

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CN

-

M

1

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BKT

RH

0070

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L

RH

118

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^

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RH

§

070

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,

connect

RHI

189

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RH

0067

I

,

connect

RH

1

I

89

X

RH

0070

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RH

0067

*

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RH

11.89

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Previous

,

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BKT

n

^

T

:

—

B

.

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panel

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BKT

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Panel

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CN

-

MI

n

出荷時接済

connected

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RH

0067

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CN

-

MI

<

T

i

基板搬送信号

B

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i

.

i

CN

-

M

2

基板搬送信号

e

iext

P

^

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.

iCN

-

M

2

〈

T

<

T

出荷時接続済

/

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\

/

—

i

/

—

x

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BKT

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「

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1

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BKT

previou

RH

0067

太

connected

RH

0067

X

出荷時接続済

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RH

0070

*

l

/

-

^

2

-

F

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2

-

|

F

U

-

'

^

-

F

-

,

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1

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F

CN

-

M

2

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-

M

2

CN

-

M

2

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；

2

-

F

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^

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\

-

R

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-

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-

R

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1

-

R

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-

R

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-

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breaker

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-

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breaker

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’

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^

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[

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-

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2

"

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breaker

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B

3

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^

c

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0

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9

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RH

0562

I

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ext

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mm

f

後工程側

>

(

Next

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)

後遍

(

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side

)

(

Prev

side

)

side

)

NAME

\

-

又増設

I

/

F

BASE

[

XTENSIQN

1

/

P

TYPE

NXT

TITLE

2

M

^

2

M

^

4

M

DRAWING

No

.

x

2

RL

01780

EXTENSION

4

M

BASE

4

M

BASE

双

4

M

\

-

X

(

:

連結

Lr

使用好場

When

using

it

,

connecting

(

M

base

with

1

M

base

△

n

5

;

6

;

7

;

8

NXT

NXT

m

BASE

<

--

>

IM

BASE

)

HARNESS

CONNECTION

PICTURE

基板搬送方向

panel

transfer

direction

CN

28

A

CN

27

A

NXNU

，

RH

2012

*

IN

BASE

#

>

松

-

JU

4

[

/

FS

§

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/

2

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-

6

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S

-

6

CN

6

]

/

F

CN

6

;

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2

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2

RH

2133

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激

2

-

Z

Thermo

fuse

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^

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-

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BKT

MS

3

CN

3

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inverter

BKT

-

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A

-

夕

BKT

MS

1

CN

3

Inverter

BKT

心

/

卜夕

BKT

MS

1

CNI

Inverter

BKT

RH

2130

米

蜜

^

(

-

夕

BKT

MS

3

CN

1

Extension

inverter

BKT

CN

27

B

RH

213

DK

■

B

0

X

BCBCN

：

18

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CN

28

A

CN

27

A

左側面

廿仆



力

A

-

module

left

side

co

RH

0527

X

RHI

69

U

^

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2

-

湖面

C

廿仆



力

/

卜

module

right

side

cover

RH

0528

*

RH

1692

*

出荷時接続済

I

/

F

CN

27

/

\

to

I

/

F

CN

27

J

/

OR

connected

RH

0259

)

BRCN

1

__

n

rrn

RH

0558

來

四

§

543

找取

y

外

LRH

0559

米妇藤

=

=

/

n

~

o

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RH

0543

X

,

connect

RH

0

S

59

?

BLCN

2

BRCN

2

一

[

□

圊

圄口

>

h

-

)

\

A

J

RH

0559

X

L

BRCN

3

S

'

'

\

BLCN

3

fixed

side

to

nodule

4

terminal

connector

[

圆

、

/

/

v

~

r

\

=

D

,

l

1

]

\

/

~

oCZ

^

j

RH

0560

氺

connection

BRCN

3

cable

side

(

XJUl

)

BLCN

4

'

时

前工程

PiiiSlfBKT

previou

panel

transfer

1

CN

-

M

1

；

in

case

of

last

side

I

/

F

2

CN

9

/

\

to

I

/

F

2

CN

9

(

ii

n

in

j

~

s

~

^

<

=

>

1

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]

\

"

i

>

=

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rc

=

>

^

~

'

\

[

圓

LC

=

XJ

~

s

/

RH

0987

木

，

中継

cable

to

BKT

RH

007

嶋取亂

RH

123

(

Z

)

^

接耐圣

reiove

mmt

.

conned

RH

123

W

出荷時接続済

connected

RH

0067

*

前工程



1

|

_

搬送畢号

BKJ

IOU

!

panel

transfer

基板準号色

K

xt

panel

transrei

i

!

CN

-

M

2

基板搬痒信号卟

?

xt

panel

transte

i

i

CN

-

M

2

BKT

Prev

:

出荷時接続済

[

¥

1

X

—

—

\

i

—

、

/

哼

:

出荷時接続済

connected

RH

0070

X

connected

RH

12

谢

RH

0067

*

L

/

-

y

2

-

F

LANE

2

-

F

U

-

y

2

-

R

.

ANE

2

-

R

U

-

y

2

-

F

LANE

2

-

F

IN

JN

NC

1

/

-

V

1

A

；

U

-

>

1

-

R

LANE

1

-

R

LANE

1

-

F

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/

-

V

1

-

R

j

.

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1

-

R

_

_

ANE

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-

牛外

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u

-

力

BKT

2

!

_

circuit

breaker

BKT

2

L

T

i

^

3

B

RH

0562

X

CN

2

t

前遞

\

(

Previous

side

)

t

前工

_

\

(

Previous

side

)

t

後工程側

、

(

Next

side

)

後工程側

NAME

\

-

又増設

I

/

F

BASE

[

XTENSIQN

1

/

P

TYPE

NXT

TITLE

4

M

—

4

M

増設

EXTENSION

DRAWING

No

.

9

/

\

2

RL

01780

EXTENSION

4

M

BASE

4

M

BASE

4

M

《

-

说

4

M X

-

又

(

：

連結使用

？

§

場

I

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i t

,

c o n n e c t i n g

4

M

b a s e

w i t h

4

M

b a s e

△

2

!

3

!

4

N X T

(

X

)

/

\

-

接続図

NXT

(

4

M

BASE

<

-

>

4

M

BASE

)

HARNESS

CONNECTION

PICTURE

基板搬送方向

panel

transfer

direction

CN

27

A

N

,

I

/

FSf

:

f

/

Poi

6

i

±

iS

4

M

^

'

-

X

EXTENSION

BASE

L

1

'

RH

2012

X

ea

-

JU

~

4

nodule

1

-

4

技

]

-

儿

5

~

8

nodule

S

-

8

Thermo

fuse

2

RH

2133

*

獲

5

<

>

八

‘

-

夕

BK

丁

r

>

h

心八

■

-

夕

BKT

MS

1

CN

3

Inverter

BKT

心八

"

-

夕

BKT

RH

2130

*

Extension

撞

SOK

—

夕

BKT

MS

3

CN

1

Extension

inverter

BKT

RH

213

ia

<

CN

27

B

:

CN

27

B

BCBCN

18

:

：

'

C

3

.

，

:

.

C

;

CN

27

A

r

-

y

]

-

瓜左麵

廿仆

.

力

n

-

K

side

cove

RHI

170

太

nodule

left

RH

0527

*

RH

1691

*

RH

0

?



二

'

l

/

J

^

I

/

F

CN

28

to

l

/

F

CN

28

HUB

CH

9

\

to

HUB

CH

5

connected

.

■

IIP

.

,

l

/

OR

I

/

F

1

CN

27

RHI

187

太

RH

0715

*

®

CI

]

才

7

夕植

RHI

170

*

]

本

79

«

BRCN

2

:

®

CN

27

©

S

^

C

e

_

a

CN

27

ct

R

«

II

7

W

CN

27

1

.

C

\

/

RH

0258

*

®

I

/

O

_

F

®

in

>

]

i

RHTI

88

*

-

RH

0258

*

reiiove

RHD

258

I

IALF

connect

RH

097

I

*

1

/

OJ

.

後工程信号

出荷時接続済

side

(

I

next

side

signal

fixed

二

y

二

connedeil

RH

0583

*

-

C

/

夕一

oy

夕基板

1

I

/

O

F

interlock

BLCN

3

丫

ilf

PCBI

1

/

0

F

RH

132

S

米

RH

0971

*

terminal

connector

李全回路

safety

circuit

SLCN

4

RHI

280

米

I

/

F

2

C

to

I

/

F

2

C

\

II

-

RH

0987

*

RHT

234

*

.

plls

CN

-

M

1

i

RH

0070

炫取

y

札

RH

1189

)

C

(

aS

?

§

remove

RH

8870

*

,

connect

RHII

89

t

RH

0070

*

BKT

:

'



:

後工程

It

l

^

U



柄

:

U

翻搬送信号

BKT

pre

»

iou

!

_

ppiLLrps

^

r

BKT

基板搬送信号

B

panelJiajs

.

f

(

T

iiiser

-

CN

-

M

2

[

fl

connected

r

IH

next

RH

0067

*

CN

-

MI

CN

-

M

2

卜

ws

)

RHHB

9

.

n

*

*

Q

出荷時接続済

connected

RHI

230

*

RH

0070

*

lA

U

-

S

u

-

>

1

-

R

ANE

1

-

R

U

-

>

l

-

F

;

IANEI

-

I

7

(

.

ANE

1

-

J

_

B

3

r

.

N

i

|

□

^

3

召

RHI

醜

前工程側

vioUS

Si

(

Nelflfl

)

,

後工翻

，

(

Next

side

)

(

Pre

de

) (

Previous

side

)

NAME

久

-

又職

I

/

F

BASE

EXTENSION

l

/

F

TYPE

NXT

Tfnr

4

M

&

4

M

iLEXJENSIOMi

DRAWING

No

.

%

RL

01780