Schmtic_NXT_03_.pdf - 第201页

INDEPENDENCE BOX Z 2 I V K _ 又汔 3 台連結 L I ：使用忍場 △ □ 3 ! 4 2 5 ! 6 W h e n t h r e e 2 M b a s e s u s e d c o n n e c t i n g t h e m a r e 2 M BASE 2 M BASE 2 M BASE N X T ( 自 i i _ 制 f 卸盤 — ) / \ — $ 又接続図 N X T ( I N …

INDEPENDENCE

BOX

2

M

十说

2

台連結使用好場

△

n

n

When

two

2

M

bases

are

used

connecting

them

3

!

4

2

N X T

(

自立制御盤

is

-

才又接続図

NXT

(

DEPENDENCE

CONTROL

B

0

X

<

-

-

>

2

M

BASE

<

-

>

2

M

BASE

)

HARNESS

CONNECTION

PICTURE

基掘紐方向

panel

transfer

direction

2

M

BASE

2

M

BASE

CN

28

A

CN

27

A

INDEPEN

^

ifSoL

BOX

2

lvK

-

；

l

2

IVK

-

又

RH

2012

*

2

M

BASE

2

M

BASE

WJ

.

-

)

U

-

2

module

l

.

2

松

-

儿

3.4

module

3

*

4

CN

27

B

CN

27

B

CN

27

A

-

儿左側面

廿仆



力八

•

-

lodule

left

side

cover

RH

0527

*

RH

169

U

CN

28

A

廿仆



力八

•

-

module

right

side

cover

RH

0528

*

RH

1692

*

CN

2

趴

T

CN

28

I

/

F

CN

27

I

/

F

丨

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1

/

F

CN

27

to

I

/

F

I

/

F

CN

27

'

to

I

/

F

CN

27

二



接続呔

^

「

2

MK

—

又奁単独

T

使用

t

&

場合

J

汔参照

>

f

gure

J

ependently

]

一

.

^

-

^

r

-

.

wvX

-

a

HUB

HUB

出荷時接続済

CH

5

CH

6

RH

05

S

8

太

con

RH

0584

*

RH

0584

米爸取

y

外

LRH

0559

米在

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圣

r

=

>

°

^

remove

RH

0584

I

,

connect

RH

0

S

5

^

-

BRCN

2

BLCN

2

BRCN

2

M

’

BLCN

2

in

□

圍

RH

0559

X

r

BRCN

3

RH

0583

*

BLCN

3

BRCN

3

气

pcz

=

>

^

~

'

~

\

(

i

]

—

=

^

S

—

[

BLCN

3

Please

reference

to

a

[

When

2

M

base

is

used

ind

RH

056

M

BRCN

3

(

7

-

M

«

cable

side

最終工程時

出荷時接続済

BLCN

4

BLCN

4

connected

connection

in

case

of

last

side

A

1

i

I

來

RH

1

163

)

:

RH

1162

*

i

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S

_

BKT

us

panel

transfer

BKT

Previc

S

1

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iilS

§

BKT

_

Panel

transfer

BKT

出荷時接続済

Previou

connected

RH

0067

*

%

i

'

i

1

後工程

基板搬送信号

BK

基碰送信号

BK

[

next

panel

transfer

m

出荷時接続済

next

Panel

transfer

出荷時接続済

connected

RH

0070

木

connected

RH

0070

米

CN

-

M

2

CN

-

M

2

j

[

[

]

f

:

CN

-

M

2

l

/

-

>

2

-

R

LANE

2

-

F

l

/

-

>

2

-

R

LANE

2

-

R

JN

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-

>

1

-

R

LANE

I

-

R

-

F

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1

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F

U

-

>

1

-

R

LANE

I

-

R

LANE

1

-

F

JN

士

-

牛外力

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circuit

breaker

BKT

j

-

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-

力

BKT

;

_

circuit

breaker

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RH

0562

)

tc

c

\

-

_

f

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_

N

(

Previous

side

)

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1

(

Next

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)

(

Previ

side

)

si

ous

^

前工綱

、

(

Previous

side

)

f

後工程側

x

(

Next

side

)

TYPE

NAME

X

-

又驗

I

/

F

BASE

EXTENSION

1

/

F

NXT

TITLE

自立

-

2

M

-

2

M

INDEPENDENCE

BQX

-

2

N

-

2

H

DRAWING

No

.

%

RL

01 780

INDEPENDENCE

BOX

Z

2

I V K

_

又汔

3

台連結

L I

：

使用忍場

△

□

3

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4

2

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6

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2

M

b a s e s

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c o n n e c t i n g

t h e m

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2

M

BASE

2

M

BASE

2

M

BASE

N X T

(

自

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_

制

f

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—

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/ \

—

$

又接続図

N X T

(

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CONTROL

B

0

X

<

--

>

2

M

BASE

<

-

)

2

M

BASE

<

--

)

2

N

BASE

)

HARNESS

CONNECTION

PICTURE

基板搬送方向

panel

transfer

direction

INDEPENDENCE

CONTROL

BOX

2

IVK

-

；

1

2

MM

CN

28

A

CN

27

A

CN

28

A

CN

27

A

RH

2012

)

*

:

RH

2012

來

2

M

BASE

2

M

BASE

-

JL

1.2

no

J

.

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ule

1.2

CN

27

B

CN

27

B

CN

27

B

-

0

CN

27

A

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1

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/

\

*

-

^

■

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left

side

cover

RH

0527

*

RH

1691

*

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-

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啊卜



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_

■

odule

right

side

cover

RH

052

肽

RH

1692

*

I

/

F

CN

27

/

\

I

/

F

CN

28

/

\

to

I

/

F

CN

21

to

I

/

F

CN

28

l

/

FCN

27

/

\

I

/

F

CN

2

&

\

to

I

/

F

CN

27

to

I

/

F

CN

28

HUB

HUB

二

①

接続呔

\

「

21

\

/

^

—

又奁単独万使用才

4

場合

」

左参照

Please

reference

to

a

f

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J

:

'

t

III

[

When

2

M

base

is

used

independently

]

i

CH

6

CH

5

HUB

cm

HUB

CH

5

CH

6

RH

0558

太



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9

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RH

0559

炫接飼

RH

0584

*

,

connect

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^

T

RH

0558

米

RH

R

H

,

05

a

4

^

R

H

0

5

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RH

0584

I

,

connect

RH

055

%

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BLCN

2

BRCN

2

BRCN

2

BLCN

2

BRCN

2

i

畸

]

BLCN

2

出荷時接続済

connected

RH

0584

X

-

[

m

®

n

>

□

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□

a

RH

0559

太

RH

0559

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3

BLCN

3

BRCN

3

BLCN

3

BRCN

3

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:

BLCN

3

L

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r

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3

c

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<

>

RH

0560

X

RH

0560

氺

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3

:

-

細

BRCN

3

side

出荷時接痪済

BLCN

4

cable

side

BLCN

4

BLCN

4

cable

connected

圓

圓

RH

1163

*

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0583

⑽

BRCN

3

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□

衫夕咖

r

RH

0560

⑽

BRCN

30

U

之夕夕汔差込

C

renove

RH

0

SB

3

X

BRCN

3

\

connect

RH

0

S

59

I

BRCN

3

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々

H

0583

太

①

BRCN

3

办

]

才夕夕汔抜

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RH

0560

來

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BRCN

3

①

□

才夕夕汔差

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RH

0583

*

BRCN

3

\

connect

RH

0560

I

BRCN

3

/

RHil

62

^

出荷時接

1

済

出荷時接插済

transfer

BKT

connected

CN

-

MI

基板搬

ii

!

xt

Panel

tran

CN

-

MI

ssilileKir

panel

_

transfer

CN

-

M

2

基板齡送信号

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xt

panel

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i

i

CN

-

M

2

:

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K

'

iM

r

期

^

出荷時接続済

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ie

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connected connected

CN

-

M

2

RH

0070

X

xrz

^

1

~

^

\

ffl

A

-

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S

-

/

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2

-

i

出荷時接続済

connected

RH

0070

*

1

/

-

V

2

-

F

!

LANE

2

-

F

U

-

>

2

-

F

：

LANE

2

-

F

L

/

-

^

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-

F

：

LANE

2

-

F

CN

-

M

2

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RH

1

186

)

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RH

1186

米

LANE

卜

f

tANEl

-

R

LANE

14

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-

f

L

/

-

>

1

-

R

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1

-

B

_

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-

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.

I

RH

1186

米

;

-

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-

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-

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circuit

breaker

BKT

九

-

力

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^

：

i

circuit

breaker

BKT

£

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B

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>

3

0

RH

0562

X

RH

0562

米

CN

^

t

前工程

ft

(

Previous

side

)

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後工

t

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、

(

Previous

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)

(

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)

f

前工

HI

\

(

Previous

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)

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、

side

)

t

前工

_

^

(

Previous

side

)

後通

(

Next

S

NAME

\

-

又増設

I

/

F

BASE

[

XTENSIQN

1

/

P

TYPE

NXT

TITLE

自立

-

2

M

-

2

M

-

2

M

liEPEM

B

0

X

-

2

M

-

2

H

-

2

M

DRAWING

No

.

X

2

RL

01780

VACUUM

PUMP

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:

:

o

:

2

M

十及

4

台連結

br

使用扣場

When

four

2

M

bases

are

used

connecting

them

]

2

3

!

4

5

!

6

7

!

8

2

M

BASE

2

M

BASE

2

M

BASE

2

M

BASE

基板搬送方向

N

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(

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B

0

>

自

1

/

_

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<

~

~

>

2

M

-

N

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-

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>

2

~

~

>

2

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^

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>

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M

7

^

-

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I

\

又接続図

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PUMP

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<

-

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CONTROL

B

0

X

<

-

>

2

M

BASE

<

-

>

2

M

BASE

<

-

>

2

M

BASE

<

-

-

>

2

M

BASE

)

HARNESS

CONNECTION

PICTURE

panel

transfer

direction

VACUUM

PUMP

BOX

RH

2143

*

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A



-

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BKT

MS

3

CN

3

RH

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*

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CN

1

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*

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BKT

心八

-

夕

BKT

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3

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BKT

ffi

.

22

M

^

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27

A

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\

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^

CN

28

A

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M

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:

-

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^

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CN

28

A

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A

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.

,

A

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/

/

A

RH

2012

X

RH

2012

X

RH

2012

X

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«

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：

CN

27

B

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B

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*

-

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BKT

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CN

27

B

CN

27

B

-

<

3

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BKT

CN

27

A

CN

28

A

,

„

_

BOX

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2

control

box

1

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1

游

RH

0527

*

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ri

RH

0528

*

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92

*

1

UE

HUB

CH

6

1

U

1

:

1

UE

CH

6

CT

3

「

2

M

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J

「

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Please

reference

to

a

figure

J

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[

When

2

H

base

is

used

ind

出



證済

RH

0584

»

:

RH

055

g

*

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RH

05581

BLCN

2

BRCN

2

BRCN

2

BLCN

2

BRCN

2

BRCN

2

BLCN

2

fl

«

：

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BRCN

3

BRCN

3

BLCN

3

BRCN

3

BLCN

3

BRCN

3

BLCN

3

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BLCN

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[

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RH

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CM

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3

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BRCN

3

BRCN

3

:

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'

V

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4

-

BLCN

4

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(

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BLCN

4

BLCN

4

able

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RH

0

S

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*

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：

RH

0

S

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3

«

>

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I

6

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RH

0583

X

«

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3

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RH

0560

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3

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,

1

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«

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-

-

I

01

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S

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刪

3

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BRCN

3

Me

«

S

BUCK

.

1

：

onoect

RH

出荷時済

RH

0067

*

出荷時接皖済

connected

「

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H

0067

*

,

S

*

桑

sfidil

fffi

|

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«

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5

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l

.

1

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-

CN

-

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CN

-

M

1

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:

:

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卩

cia

:

T

«

T

1

板

p

平

；

CN

-

M

2

出荷時接拜済

connected

RH

0070

*

^

出荷時接続済

III

connected

HcSUJ

RH

0070

*

二

a

.

'

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w

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:

■

jnn

Jl

0

0

H

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^

F

L

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2

-

f

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2

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I

-

CN

-

M

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2

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R

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2

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1

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LANE

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-

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.

I

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_

t

(

j

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T

_

'

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breaker

H

(

T

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"

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hr

&

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B

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]

^

1

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-

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k

circuit

breaker

BKT

"

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B

>

T

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H

H

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]

>

(

|

^

l

Q

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^

i

RH

0562

來

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木

RH

0562

j

:

I

-

'

-

.

(

Nefffule

)

(

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^

l

(

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)

side

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)

(

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^

side

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(

NeWde

,

(

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*

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)

(

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(

Prev

^

ous

^

side

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NAME

久

-

又職

I

/

F

BASE

EXTENSION

l

/

F

TYPE

NXT

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自立

-

2

M

-

2

M

-

2

M

-

2

M

INDEPENDENCE

BQX

-

2

M

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M

-

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H

-

2

M

DRAWING

No

.

V

\

2

RL

01780