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心夕 〕 工 - 又基板 I N T E R F A C E B O A R D O 夕 〕 工 - 又基板 I N T E R F A C E B O A R D 5 0 I 5 2 3 E l . - C N 2 E l M 1 5 3 B 八 - ' 伽 51 光源 P A R T S C A M E R A ! L A M P E 2 M 1 5 1 E 2 5 0 2 5 2 4 S P 丫 0 1 0 S P Y …

SAFETY
RELAY
UNIT
心夕
-
〕
工
-
遞
INTERFACE
BOARD
O
夕
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7
工
-
又麵
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1
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424
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M
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21
M
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405
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M
235
M
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4
M
254
M
229
1
1
M
242
406
428
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1
24
-
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M
254
M
231
-
27
M
21
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407
429
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22
M
260
-
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239
M
239
1
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M
239
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M
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M
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-
30
M
242
M
241
正面力八
-
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S
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M
2
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1
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M
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226
LC
1
-
D
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M
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1
X
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VM
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VM
4
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439
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M
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-
2
419
44
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AV
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y
PALETTE
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M
2
MS
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M
228
b
正面力八
-
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FRONT
COVER
CHECK
M
2
LS
1
E
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M
202
M
202
LC
1
-
D
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-
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y
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CONTROL
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M
283
M
284
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i
_
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_
MODULE
CIRCUIT
DIAGRAM
NAME
PAGE
34
VM
M
284
35
TITLE
心 夕
-
基 板
INTERFACE
BOARD
TYPE
E
9
NXT
36
DRAWING
No
.
%
RE
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心夕
〕
工
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INTERFACE
BOARD
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工
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又基板
INTERFACE
BOARD
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PARTS
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E
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GB
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^
A
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丫
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未使用
NOT
USED
-
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M
256
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M
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1
E
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B
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M
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B
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H
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X
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X
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H
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-
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X
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B
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H
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VM
4
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NOT
USED
1
M
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1
M
271
F
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SP
Y
01
F
509
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:
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SP
GB
-
C
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012
-
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012
1
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A
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012
A
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5
10
532
-
26
※
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SW
2
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•
- -
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2
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is
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with
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piece
series
.
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533
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M
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L
1
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D
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6
M
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GB
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7
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542
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TPA
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INTERFACE
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RS
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心 夕 工
-
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RS
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INTERFACE
m
M
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M
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SHIELD
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CIRCUIT
DIAGRAM
NAME
PAGE
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2
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2
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4
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TYPE
m
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BOARD
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2
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•
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、
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>
-
1
接続確認
RX
00
A
NOZZLE
CHANGER
I
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CHECK
GA
GA
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0
6
628
ma
-
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LINEAR
SCALE
CONTROL
BOARD
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GB
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RX
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1
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MOTOR
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2
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2
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A
圧碼
S
RX
000
PARTS
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PRESSURE
OK
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63
1
RX
00
C
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PS
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-
102
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-
PWM
-
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-
件
2
-
厶 圧 確 認
RX
001
LANE
]
PANEL
VACUUM
PRESSURE
OK
W
接続確認
1
OPTION
0
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乂
茶
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RX
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D
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CHECK
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-
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BRW
RX
002
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RX
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PS
6
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PWM
-
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黒
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青
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麵
NOZZLE
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BOARD
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(
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IPS
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NXD
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RX
003
NOZZLE
CHANGER
1
UPPER
LIMIT
1
CHECK
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6
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CN
RX
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F
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牛
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乂儿于工柳
-
1
上昇端
2
確認
RX
004
NOZZLE
CHANGER
I
UPPER
LIMIT
2
CHECK
6
16
638
+
24
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GA
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617
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-
1
下降端確認
RX
005
NOZZLE
CHANGER
I
LOWER
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GA
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64
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JjNXB
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RX
006
NOZZLE
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身
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«
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CLOSED
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1
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-
開 碼
|
RX
007
NOZZLE
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SHUTTER
OPEN
CHECK
62
1
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GA
62 2
644
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卜
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_
MODULE
CIRCUIT
DIAGRAM
NAME
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O
BOARD
TYPE
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DRAWING
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01767