Schmtic_NXT_03_.pdf - 第203页

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VACUUM

PUMP

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direction

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PUMP

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RH

2143

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BRCN

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BRCN

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BRCN

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3

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M

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M

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M

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3

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0583

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-

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-

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M

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RH

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出荷時接続済

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0583

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R

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1

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3

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BKT

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-

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BKT

MS

3

CNI

Extension

inverter

BKT

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BKT

MS

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CN

3

inverter

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CN

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CN

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CN

27

A

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/

F

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A

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F

CN

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/

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/

F

CN

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RH

0527

太

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I

/

F

CN

27

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F

CN

27

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I

/

F

CN

27

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\

to

I

/

F

CN

27

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CH

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CH

6

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0558

X

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*

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*

,

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RH

0558

*

RH

0

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2

BRCN

2

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BLCN

2

BRCN

2

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[

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□

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RH

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*

RH

055

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3

BRCN

3

BRCN

3

BLCN

3

r

BLCN

3

RH

0583

X

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続済

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side

(

fixed

si

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3

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RH

0560

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RH

0560

*

—

■

；

connect

ion

in

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3

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si

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BRCN

3

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side

(

^

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^

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connection

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in

case

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BLCN

4

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•

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n

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1163

*

RH

1163

*

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to

cable

7

-

：

^

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cable

to

cable

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JJineLtjaijsfer

BKT

S

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1

I

!

BKT

_

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|

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BKT

RH

0070

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RH

0

S

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米汔接続

％

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RH

0070

*

,

connect

RH

0583

X

RH

0070

X

RH

0583

太在接続嘗态

remove

RH

0070

*

.

connect

RH

0583

*

RH

0070

L

Previous

Previous

前工程

後工程

i

後工程

:

基板搬送信号

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Panel

_

t

_

rajs

CN

-

M

2

赛板搬送信号

BK

Panel

transfer

BKT

next

Panel

transfer

CN

-

M

1

*

基板粒信号

BKT

基板搬送信号

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lext

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.

rans

；

CN

-

M

2

/

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\

/

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er

BKI

er

BKT

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connected

CN

-

M

2

RH

0067

*

RH

0067

*

出荷時接続済出荷時接続済

S

3

，

2

-

R

connected

connected

<

>

■

<

>

RH

0583

*

RH

0583

*

RH

0067

*

RH

0070

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2

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2

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2

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,

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1

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0562

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0562

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(

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side

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f

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(

Previous

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N

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Next

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f

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(

Previous

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t

後工程側

、

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side

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前工程側

、

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Previous

side

)

NAME

\

-

又増設

I

/

F

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1

/

P

TYPE

NXT

TITLE

4

M

—

2

M

—

2

M

DRAWING

No

.

X

2

RL

01780