Schmtic_NXT_03_.pdf - 第202页
VACUUM PUMP RD : : o : 2 M 十及 4 台連結 br 使用扣場 W h e n f o u r 2 M b a s e s a r e u s e d c o n n e c t i n g t h e m ] 2 3 ! 4 5 ! 6 7 ! 8 2 M BASE 2 M BASE 2 M BASE 2 M BASE 基板搬送方向 N X T ( 真空 B 0 > 自 1 / _ 制伽盤 < ~ …
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