FX-2_使用说明书.pdf - 第282页
第 6 章 编辑辅助功能 标记识别不稳定时，在指定上述③刻度框（测量框）左上角之前， 先按 [ 设置照明条件 ] 按钮，设置照明类型。 在指定刻度框 ( 测量框 ) 左上角时，会出现下列画面提示。 图 6-1-6 图像示教中画面 若是设置 [ 标准照明 ] 后可识别标记，则可省略设置照明条件的操作。只有在标记识 别不稳 定时，请按下列方法重新设置照明条件。 按下 [ 设置照明条件 ] 按钮后，出现下面的对话框。请设置照明类型。 图 6-…
第 6 章 编辑辅助功能
调整完成后，按下 ENTER 键。
[＊]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
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[ ]
[ ]
[ ]
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[ ]
[ ]ＰＲ
若判断结果有错误时，请使用 HOD 的↑ 键，↓ 键（XY
移动上下箭头键）选择正确的标
记，按下 ENTER 键。
若是标记的信息相同，只需再进行检测框示教时，请按 HOD 的 NEXT，可省略上述
刻度框的示教操作。如果属首次进行标记识别，NEXT 键变为无效。
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第 6 章 编辑辅助功能
标记识别不稳定时，在指定上述③刻度框（测量框）左上角之前，
先按[设置照明条件]按钮，设置照明类型。
在指定刻度框 (测量框) 左上角时，会出现下列画面提示。
图
6-1-6
图像示教中画面
若是设置[标准照明]后可识别标记，则可省略设置照明条件的操作。只有在标记识别不稳
定时，请按下列方法重新设置照明条件。
按下[设置照明条件]按钮后，出现下面的对话框。请设置照明类型。
图
6-1-7
设置照明类型的画面
照明类型 处理
标准照明 识别一般的基板标记时使用。
阻剂/保护胶片照明 标记上有阻剂/保护胶片，在标准照明条件下反射不准、
识别不稳定时使用。
用户定义照明*
在上述两种类型里标记反射不佳、识别不稳定时，可以
直接设定垂直照明及角度照明的亮度。
* 用户定义的照明程度的亮度，请设定为 50～200。光量 50 以下有时不稳定。
设置照明条件
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第 6 章 编辑辅助功能
④ 示教检测框架。
③的操作完成后，自动显示标记尺寸 1.5 倍的窗口与画面中心一致（默认窗口）。
需要改变检测框架时，按③的顺序进行。
在这里，按下 HOD 的 PREVIOUS 键后，可以返回到刻度框架示教（③的操作）。
⑤ 完成示教后，显示画面，询问是否注册到标记数据库。
图
6-1-8
基板标记示教（2）
用设定刻度框的同样方法设定检测框。
调整好后请按下 ENTER 键。
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