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第 16 章 维护 < 头盖的拆除方法 > 1) 请用六角扳手拧下固定头 盖的 4 个 M6 × L30 内六角螺丝。 2) 拆下头盖。 < 气缸的拆除方法 > 1 ) 拆下气缸前,请对准外壳部位在压板上用 油性笔做标记。 2) 请戴上手套将风扇慢慢向上旋转。 (这时,必须要戴上手套) 3) 请向上拆除气缸。 16 - 16

第 16 章 维护
<准备更换>
1) 请确认真空泵①没有运转。
(刚停止运行后温度很高,请注意)
2) 请拆下真空泵单元的外装盖子
3) 拆下连接真空泵的空气管,
用六角扳手拆下②的泵支撑架。
4) 从③VP_底座上拉出真空泵。
(拉出时请注意连接的束线。)
5) 打开接线盒的盖子,拆除连接到
接线柱上的电线④。
6) 用对边 5mm 的六角扳手拧下固定把手的
内六角螺丝 M6×L16。
7) 请将泵纵向放置,使要更换的头盖位于上部。
④
①
②
③
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第 16 章 维护
<头盖的拆除方法>
1)请用六角扳手拧下固定头盖的 4 个
M6×L30 内六角螺丝。
2) 拆下头盖。
<气缸的拆除方法>
1)拆下气缸前,请对准外壳部位在压板上用
油性笔做标记。
2)请戴上手套将风扇慢慢向上旋转。
(这时,必须要戴上手套)
3)请向上拆除气缸。
16-16

第 16 章 维护
<压板、皮碗垫圈、吸气阀防干扰橡胶的拆除方法>
1)请用油性记号笔按照外壳标记部分在压
板上做标记。
2)请拆下压板的 4
个小平头螺丝
。
3)请拆除压板和皮碗垫圈。
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