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第 16 章 维护 6) 请从旋转部分的缝隙拉出 PUMP BLADE 【 40078778 】，进行更换。 ※要 7 片统一进行更换，请注意各自的安装方向。 7) 请按照相反的步骤进行安装。 叶片 （×７） 16 - 20
第 16 章 维护
16-2-10-2 真空泵零件的更换（机器版本 Rev. A）
1) 请确认真空泵没有运转。（刚停止运转后温度会很高，敬请注意。）
2) 请使用六角扳手拆下真空泵前面树脂罩。（2 处螺丝）
3) 请使用六角扳手拆下过滤器罩。（2 处螺丝）
4) 请从过滤器罩的凹槽里取出 PUMP FILTER【40078779】，进行更换。
5) 请用六角扳手拆下盖子。（螺丝 3 处）
树脂罩
螺丝
过滤器罩
螺丝
气泵过滤器
过滤器罩
盖子
树脂罩
盖子
螺丝
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第 16 章 维护
6) 请从旋转部分的缝隙拉出 PUMP BLADE【40078778】，进行更换。
※要 7 片统一进行更换，请注意各自的安装方向。
7) 请按照相反的步骤进行安装。
叶片（×７）
16-20
第 16 章 维护
16-3 清洁
16-3-1 XY 轴直动单元
检查 X 轴单元和 Y 轴单元 （左右 2 个位置）导轨有无垃圾，灰尘等附着。如果有则要
进行清洁。擦掉润滑脂时，请参见「16-4 润滑」，上润滑脂。
图
16-3-1
XY 单元
危险
在 X 轴单元使用了超强大磁石。做清洁工作时请勿携带手表、手机及
其他易受磁石影响的物品。
手部等身体部分夹在受磁石吸引的物品和 X
轴单元中间时，可能发生重
大工伤。
X 轴单元
Y 轴单元
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