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第 16 章 维护 < 气缸各种零件的拆除、更 换方法 > 1 ） 请拧松固定排气阀压板的 M3 × L5 盘头小 螺丝。 2 ） 请拆除排气阀压板、 排气阀支撑、 排气阀。 3 ） 请拧下固定吸气阀压板的 M3 × L5 盘头小螺丝。 4 ） 请拆除吸气阀压板、吸气阀支撑、吸气阀。 5 ） 请拆除头盖的垫圈，清洗头盖。 清洗后请吹干，并更换新的垫圈 6 ） 请将棉纱沾上洗净液，仔细地对气缸所有部分 进行脱脂。 7 ） 更换…
第 16 章 维护
<压板、皮碗垫圈、吸气阀防干扰橡胶的拆除方法>
1)请用油性记号笔按照外壳标记部分在压
板上做标记。
2)请拆下压板的 4
个小平头螺丝
。
3)请拆除压板和皮碗垫圈。
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第 16 章 维护
<气缸各种零件的拆除、更换方法>
1） 请拧松固定排气阀压板的 M3×L5 盘头小
螺丝。
2） 请拆除排气阀压板、排气阀支撑、排气阀。
3） 请拧下固定吸气阀压板的 M3×L5 盘头小螺丝。
4） 请拆除吸气阀压板、吸气阀支撑、吸气阀。
5） 请拆除头盖的垫圈，清洗头盖。
清洗后请吹干，并更换新的垫圈
6） 请将棉纱沾上洗净液，仔细地对气缸所有部分
进行脱脂。
7） 更换各消耗零件，请对照标记按拆卸时的逆向
步骤重新安装好。
另外，请用 8N・ m 把固定头盖的 M6
螺丝拧紧
。
吸气阀
吸气阀支撑
排气阀支撑
排气阀
垫圈
皮碗垫圈
吸气阀防干扰橡胶
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第 16 章 维护
16-2-10-2 真空泵零件的更换（机器版本 Rev. A）
1) 请确认真空泵没有运转。（刚停止运转后温度会很高，敬请注意。）
2) 请使用六角扳手拆下真空泵前面树脂罩。（2 处螺丝）
3) 请使用六角扳手拆下过滤器罩。（2 处螺丝）
4) 请从过滤器罩的凹槽里取出 PUMP FILTER【40078779】，进行更换。
5) 请用六角扳手拆下盖子。（螺丝 3 处）
树脂罩
螺丝
过滤器罩
螺丝
气泵过滤器
过滤器罩
盖子
树脂罩
盖子
螺丝
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