SM321 Service-CHI.pdf - 第276页
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Stage Camera
8-5
4. 请用沾有酒精的布块擦拭Stage Camera盖玻璃上的灰尘和污渍。
5. 请按照拆卸的倒序进行组装。
8.2.4. Stage Camera Calibration
以下情况下请执行Stage Camera Calibration。
替换Stage Camera时
因服务Stage Camera位置发生变化时
频繁发生部件识别错误时
部件废弃率上升时
重新设置Light Mapping时
Screw
Cover Glass
Cover Glass Press
Flat Cable
9-1
第9章. Flat Cable 作业指南
SM3 et到Y Frame Bracket，总共由20个 Round电缆
构成。
21 Flat Cable构成为从Head Brack
9.1. Bracket
No. Name
1 xis Motor Encoder Cable X电动机异常动作 X A
2 X Axis Motor Power Cable X电动机动作不能
3 X Axis Sensor Cable X Axis Home & Limit 动作不能
4 不良 Fiducial Camera Data Cable Fiducial Camera画像不良及识别
5 Fly Camera #1,2,3 Cable Fly Camera 1号~3号画像不良 Use Spare
6 Fly Camera #4,5,6 Cable Fly Camera 4号~6号画像不良 Use Spare
7 Fly Camera Power Cable 不显示Fly Camera 全部影像
8 Z1, Z2 Encoder Cable Z1,Z2 异常动作及motor alarm
9 Z1, Z2 Power Cable Z1,Z2 异常动作及动作不能
10 Z3, Z4 Encoder Cable Z3,Z4 异常动作及motor alarm
11 Z3, Z4 Power Cable Z3,Z4 异常动作及动作不能
12 Z5, Z6 Encoder Cable Z5,Z6 异常动作及motor alarm
13 Z5, Z6 Power Cable Z5,Z6 异常动作及动作不能
14 Mirror Swing Motor Encoder Cable Fly Mirror 异常动作及motor alarm
15 Mirror Swing Motor PWR Cable Fly Mirror 驱动不可
16 R Axis Step Motor Power Cable R轴轴动作异常/不能
17 R Axis Step Motor Power Cable R轴动作异常/不能
18 Head Sensor + 24V Power Cable
轴 传感器驱动不良， HEAD电
源
Z,R,SW home
19 驱动中 MPU STOP I/O 5号 Head IO B’D CAN Signal Cable
20 Head Vacuum/Blow Sol. Cable Sol动作异常/不能