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保养调整说明书 危险 为防止因突然起动而发生事故，请切断电源后进行操作。 [3] 贴装头周边部件 3-1 脱膜器的更换 请在主体气压降下来以后，进行更换。 因为螺线管阀是接触型的， 所以接线请勿接错。 更换以后 ， 用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方 式进行确认。 注）螺线管阀内部有油，因此请不要把压力传感器的 O 环等弄丢。 真空发生用螺线管阀 圆头小螺钉（×2） 密封垫圈 真空计传感器 圆头小螺钉（×2） O环 真空破坏…
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2-9 更换后重新调整项目一览表
激光偏差 贴装头
偏差
贴装综合
偏差
贴装头部件组
○ ○ ○
Z电动机
○
θ电动机
○
Z传感器
○
激光传感器
○ ○ ○
贴装头支撑弹簧SP
同步皮带Z
○
同步皮带θ
○
支承箱组件
○ ○ ○
吸嘴轴套
○ ○ ○
MS 参数的输入请从左按顺序进行。
在更换贴装头部件组、Z 电动机、同步皮带 Z 后进行激光偏差输入时，请把激光偏差的线路板上面高
度设为 0 后再进行输入。偏差能否正确取得或自动取得，与更换前的偏差值也有关系。
注意
为防止对人体造成伤害，在进行 HOD 操作时，请勿将手伸进机器内，
也不要将脸和头部靠近机器。
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危险
为防止因突然起动而发生事故，请切断电源后进行操作。
[3] 贴装头周边部件
3-1 脱膜器的更换
请在主体气压降下来以后，进行更换。
因为螺线管阀是接触型的，所以接线请勿接错。更换以后，用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方
式进行确认。
注）螺线管阀内部有油，因此请不要把压力传感器的 O 环等弄丢。
真空发生用螺线管阀
圆头小螺钉（×2）
密封垫圈
真空计传感器
圆头小螺钉（×2）
O环
真空破坏用螺线管阀
圆头小螺钉（×2）
密封垫圈
消音器盖
圆头小螺钉（×1）
圆头小螺钉（×2）
真空计传感器 螺线管阀
消音器
更换消音器 单个脱膜器（左：正面 / 右：侧面）
图 3-1-1 脱膜器更换
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3-2 图像信号传感器的更换
3-2-1 传感器部分
BM 透镜支架
螺母
带垫片内六角螺钉（×2）
传感光纤
摄像头 D
光纤透镜
螺母
垫圈
图 3-2-1 图像信号传感器的更换
使用附属的螺母，垫圈，按照图示的尺寸把光纤固定以后，再安装光纤透镜。
3-2-2 传感器高度的调整
CALﾌﾞﾛｯｸ
上面
BM 透镜支架
CAL 块
上面
带垫片内
六角螺钉
把图像信号传感器部件移动到CAL块上面，使得图像信号传感器
面与CAL块上部的距离为 28
0
+05
mm。拧松带垫片内六角螺钉（2 处），
移动BM透镜支架进行调整。
调整后，固定带垫片内六角螺钉。
调整后，输入 MS 参数的图像信号传感器偏差。（输入请参照
MS 参数）
注意
为防止对人体造成伤害，在进行 HOD 操作时，请勿将手伸进机器内，
也不要将脸和头部靠近机器。
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