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保养调整说明书 6-2 脱膜器的更换 1) 切断主体气压,拔出连接着的导线①和空气管②③。 2) 卸下固定脱膜器的螺栓④,卸下脱膜器。 3) 从卸下的脱膜器上换装弯管部件⑤⑥。 4) 脱膜器更换以后,请按照相反的顺序组装。 在不关闭空气供给的情况下,也可以更换过滤器⑦。 货号 40000641 名称 FILTER ⑦ ④ ② ⑥ ⑤ ③ ① 6-2 Rev. 2.00

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危险
为防止因突然起动而发生事故,请切断电源后进行操作。
[6] CAL
6-1 CAL 线路板组件的更换
1) 把与 CAL 线路板相连的 2 条电线①拔下。
2) 把φ4 的空气管从脱膜部件的弯管上拔下。
3) 卸下 CAL 板上的两处内六角螺钉②,取下 CAL 护罩③。
4) 卸下两处带垫片螺钉④,从 CAL 护罩上取下 CAL 线路板。
5) 线路板更换后,按照相反的顺序组装。
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6-2 脱膜器的更换
1) 切断主体气压,拔出连接着的导线①和空气管②③。
2) 卸下固定脱膜器的螺栓④,卸下脱膜器。
3) 从卸下的脱膜器上换装弯管部件⑤⑥。
4) 脱膜器更换以后,请按照相反的顺序组装。
在不关闭空气供给的情况下,也可以更换过滤器⑦。
货号 40000641 名称 FILTER
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6-3 真空度测量传感器的更换
1) 螺丝刀旋转管嘴 CAL①顶部的凹沟,然后更换传感器②。
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