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保养调整说明书 3-4-2 传感器中转线路板组的更换 带垫片内六角螺钉 （×2） 贴装头传感器线路板保护罩 贴装头传感器线路板 柱式螺栓（×2） 图 3-4-2 传感器中转线路板组的更换 3-11 Rev. 2.00
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3-4 贴装头线路板的更换
3-4-1 贴装头主线路板的更换
TP2
TP3
TP4
TP5
TP6
TP7
TP8
TP9
TP2
TP3
VR7
TP14
VR2
VR1
VR3 VR4
VR5
图 3-4-1 贴装头主线路板
贴装头主线路板更换后，请调整真空度的大小。（接地端子请使用 TP1。）
<顺序>
1. VR7（A/D 转换器的基准电压）的调整
① 使用伏特表观测 TP14 的电压，同时旋转 VR7 使电压值调整到 1.25±0.01V。
2. VR1～VR4(真空计输入电压)的调整
① 设置要调整的贴装头上的 503 管嘴，真空计 ON。
② 用伏特表测量外部输入检测端电压 Vvac 后，记录下来。
③ 用伏特表观测 A/D 输入检测端电压，同时旋转真空计输入电压调整用的旋钮，使电压值位于
（Vvac/2）±0.01V。
各贴装头与检测端及旋钮的关系如下所示。
贴装头 L1/R1 L2/R2 L3/R3 L4/R4
真空计输入电压旋钮 VR1 VR2 VR3 VR4
外部输入检测端 TP3 TP5 TP7 TP9
A/D输入检测端 TP2 TP4 TP6 TP8
注1） 在确认 DC 电源输出电压的调整后，对旋钮进行调整。
注2） 确认与旋钮调整相关的各类传感器是否正确连接。
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3-4-2 传感器中转线路板组的更换
带垫片内六角螺钉（×2）
贴装头传感器线路板保护罩
贴装头传感器线路板
柱式螺栓（×2）
图 3-4-2 传感器中转线路板组的更换
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危险
为防止因突然起动而发生事故，请切断电源后进行操作。
[4] OCC 装置
4-1 OCC 装置的更换
1） 卸下带垫片内六角螺钉①,取下摄像头支架 D。
2） 摄像头装置由带垫片内六角螺钉②固定，光源装置由带垫片内六角螺钉③固定。取下插头类部件，
卸下各自的安装螺栓并进行更换。
3） 按照相反的顺序进行安装。
4） 摄像头装置更换后，进行焦距调整，MS 参数输入，光源装置更换后进行 OCC 光的调整。（参照 4-7
更换后的再调整一览表）
①带垫片内六角螺钉（×3）
③带垫片内六角螺钉（×2）
②带垫片内六角螺钉（×4）
摄像头装置
光源装置
XM 底座
摄像头支架 D
图 4-1-1 OCC 装置
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