JUKYX-193-4110_G5S2.pdf - 第65页

193-41 10 JUKYX   1-16 (装置前面) (装置後面) ノズルストッカ部基板位置決め部ヘッド部 XYビーム部部品認識カメラ部カッタ部フィーダベース駆動部 F4A7

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JUKYX

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1-15

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注

意

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装置前面

エア源

真空系統

フィーダカート部

F4A6

(a) 各部の詳細なメンテナンスか所およびメンテナンス方法については、

本章“4. 点検、清掃、給油か所”以降を参照してください。

(b) オプションについては、各特別仕様の取扱説明書を参照してメンテナ

ンスを行ってください。

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JUKYX

 

1-16

(装置前面)

(装置後面)

ノズルストッカ部

基板位置決め部

ヘッド部

XYビーム部

部品認識カメラ部

カッタ部

フィーダベース駆動部

F4A7

193-4110

JUKYX

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各ユニット別に必要なメンテナンスについて記載します。

周期別に分類したメンテナンスの項目については、本章“2. メンテナン

スチェックリスト”を参照してください。

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周期：毎日（所要時間：1 分）

エアブロー圧

F4A9

手順

ケージ圧が初期設定 0.05MPa（0.5kgf/cm

）であることを目視で確認

してください。

注意

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