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193-41 10 JUKYX 1-50 吸着ノズル 3か月ごと 点検 吸着ノズルの状態を点検し、ノ…
193-4110
JUKYX
1-49
真空フィルタ
3か月ごと 交換
フィルタホルダ
フィルタ着脱治具
受け皿(3か所)
3か月ごと 清掃
油ウエスで受け皿にたまった古いグリース
を拭取ってください。
フィルタ交換時は、治具を垂
直に着脱させてください。
ノート
所要時間:3分
フィルタ装着治具を使用してフィルタ
ホルダを下に引抜き、真空フィルタを
交換してください。
交換後は、フィルタホルダをノズルホ
ルダ中央のシャフトに押入してくださ
い。
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JUKYX
1-50
吸着ノズル
3か月ごと 点検
吸着ノズルの状態を点検し、ノズルの先端が磨耗
している場合は交換してください。
吸着ノズル
毎週 清掃
• ノズルテーパ部は、レンズクリーナクロスで清掃
してください。
• ノズルを画面操作にてノズルストッカに収納し、
ノズルストッカごと取り出した後、エアブロー
を行いゴミなどを除去してください。
注 意
(a) 清掃の詳細については、
“5.1 吸着ノズルの清掃手順”を
参照してください。
(b) ノズル収納の手順については、
“第2巻 6章 5.ノズル交換”を
参照してください。
(a) ヘッドからノズルを手で取出さな
いでください。
手で取出しますと、ノズルと
ノズルデータが合わなくなります。
(b)
ノズルの汚れがひどいとき、また
は真空吸引力が弱くなり、吸着や
装着に不具合が発生する場合は、
水中での超音波洗浄を行ってくだ
さい。
水中での超音波洗浄を行う際は、
ノズルフィルタを外してください。
水以外の使用は厳禁です。
先端からエアブロー
クランプ爪
ノズルフィルタ
毎週 交換
フィルタ抜取り治具を使用してノズルフィルタを
交換してください。
交換の詳細については、
“5.3 ノズルフィルタの取外し方法”を
参照してください。
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JUKYX
1-51
X軸リニアガイド レール部 (4か所)
毎日 点検 所要時間:1分
異物などが落ちていないか、目視で点検
してください。
X軸リニアガイド ブロック部 (4か所)
3か月ごと 清掃、給油 所要時間:5分
（ダフニーグリースMP No.1）
ウエスで古いグリースを拭取って、ハンド
グリースガンでグリースニップルから新し
いグリースを給油してください。
糸くずなどを残さないよう
にしてください。
給油は、初回1か月後、以降3か月ごとに行
ってください。
注 意
X軸ボールネジ(2か所)
3か月ごと 清掃、給油
（ダフニーエポネックスグリースNo.3）
ウエスで古いグリースを拭取って、ハンド
グリースガンでグリースニップルから新し
いグリースを給油してください。
糸くずなどを残さないよう
にしてください。
給油は、初回1か月後、以降3か月ごとに行
ってください。
注 意
※対向ビームも含む
※対向ビームも含む
※対向ビームも含む
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