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193-41 10 JUKYX 1-49 真空フィルタ 3か月ごと 交換 フィルタホルダ フィルタ着脱治具 受け皿(3か所) 3か月ごと 清掃 油ウエスで受け皿にたまった古いグリース を拭取ってください。 フィルタ交換時は、治具を垂 直に着脱させてください。 ノート 所要時間:3分 フィルタ装着治具を使用してフィルタ ホルダを下に引抜き、真空フィルタを 交換してください。 交換後は、フィルタホルダをノズルホ ルダ中央…

193-4110
JUKYX
1-48
リニアガイド(3か所)
3か月ごと 給油 所要時間:15分
(ダフニーグリースMP No.1)
新しいグリースをシリンジで塗布して
ください。
給油は、初回1か月後、以降3か月ごと
に行ってください。
使用するノズルはNo.49です。
センサにグリスがつかない
よう注意しながらグリスを
塗ってください。
ノート
No.49
ボールネジ(3か所)
3か月ごと 給油 所要時間:15分
(ダフニーグリースMP No.1)
新しいグリースをシリンジで塗布してくだ
さい。
給油は、初回1か月後、以降3か月ごとに行
ってください。
使用するノズルはNo.49です。
ノート
No.49
注 意
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193-4110
JUKYX
1-49
真空フィルタ
3か月ごと 交換
フィルタホルダ
フィルタ着脱治具
受け皿(3か所)
3か月ごと 清掃
油ウエスで受け皿にたまった古いグリース
を拭取ってください。
フィルタ交換時は、治具を垂
直に着脱させてください。
ノート
所要時間:3分
フィルタ装着治具を使用してフィルタ
ホルダを下に引抜き、真空フィルタを
交換してください。
交換後は、フィルタホルダをノズルホ
ルダ中央のシャフトに押入してくださ
い。
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JUKYX
1-50
吸着ノズル
3か月ごと 点検
吸着ノズルの状態を点検し、ノズルの先端が磨耗
している場合は交換してください。
吸着ノズル
毎週 清掃
• ノズルテーパ部は、レンズクリーナクロスで清掃
してください。
• ノズルを画面操作にてノズルストッカに収納し、
ノズルストッカごと取り出した後、エアブロー
を行いゴミなどを除去してください。
注 意
(a) 清掃の詳細については、
“5.1 吸着ノズルの清掃手順”を
参照してください。
(b) ノズル収納の手順については、
“第2巻 6章 5.ノズル交換”を
参照してください。
(a) ヘッドからノズルを手で取出さな
いでください。
手で取出しますと、ノズルと
ノズルデータが合わなくなります。
(b)
ノズルの汚れがひどいとき、また
は真空吸引力が弱くなり、吸着や
装着に不具合が発生する場合は、
水中での超音波洗浄を行ってくだ
さい。
水中での超音波洗浄を行う際は、
ノズルフィルタを外してください。
水以外の使用は厳禁です。
先端からエアブロー
クランプ爪
ノズルフィルタ
毎週 交換
フィルタ抜取り治具を使用してノズルフィルタを
交換してください。
交換の詳細については、
“5.3 ノズルフィルタの取外し方法”を
参照してください。
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