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第 5 章其它功能 5-60 5-4-4-10 HLC 连接 󱇽󰋋󲢓󱱃󲳯󲢄󱍙 󱾺󲳞󲲳󰁺󰌓󱘏󱘏󱍙󲲳󰁺󲢓󱱃󱈐󳐷  图 5-32 HLC 连接的设置画面  󲢓󱱃󰊎󰦪  󳕎󱏃 󲢓󱱃   󲲳󰁺 󱾺󲙖󰐁󲖚󱱃 󲳞󳕎󲲳󰁺󲢓󱱃󲲳󰁺  �…

第 5 章其它功能

5-59

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图 5-31 设置特殊功能

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󱺿󰏉󱮨󰑱󰋵󱮨󰐴󲔡󱍙

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 󰏉󰊅󱛐󲺤 󲳞󱇴󰏉󰊅󱛐󲺤󰏉󰊅󳋉󳍩

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第 5 章其它功能

5-60

5-4-4-10 HLC 连接

󱇽󰋋󲢓󱱃󲳯󲢄󱍙

󱾺󲳞󲲳󰁺󰌓󱘏󱘏󱍙󲲳󰁺󲢓󱱃󱈐󳐷



图 5-32 HLC 连接的设置画面

 󲢓󱱃󰊎󰦪

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第 5 章其它功能

5-61

5-4-4-11 基板传送

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

图 5-33 基板传送设置画面

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 󱍙󲲴󰋋󳋉󳉔

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󲢓󱱃󱍙󲲰󲲴󰋋󳋉󰖕󰒺󲲰

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󰑔󱰏󲶽󰠷  󰋋󲢏󰑔󰌄

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󰾋󰋋󱍙󰾋󱕃󰑔󱍙󰠸󲳖

 󲳖󳝁󲲓󲳴

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 󰑔󳌢󳌥 󰑔󰉅󰁃󱍙󳐷󳞭󱍙 

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󱾺󰷟󳇶󱍙󱥭󱠞󱳡󱻉󰋨󲣌󲢓󱱃

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