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第 5 章其它功能 5-62 5-4-4-12 真空台 󲲰󲔡󰑔󱧼󰋋󱍙󱏴󱝏󲢓󱱃 󱾺󲳞󱏴󱝏󰌓󱘏󱍙󱏴󱝏󲢓󱱃󱈐󳐷  图 5-34 真空台设置画面  󲢓󱱃󳕎󱏃  󳕎󱏃 󲢓󱱃  󱏴󱝏󲲴󰋋󳋉 󱧼󰋋    󱏴󱝏  󱍙󰋋󳋉  󰈄󰅦󲲴󰋋󳋉 󱧼…

第 5 章其它功能

5-61

5-4-4-11 基板传送

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图 5-33 基板传送设置画面

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第 5 章其它功能

5-62

5-4-4-12 真空台

󲲰󲔡󰑔󱧼󰋋󱍙󱏴󱝏󲢓󱱃

󱾺󲳞󱏴󱝏󰌓󱘏󱍙󱏴󱝏󲢓󱱃󱈐󳐷

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图 5-34 真空台设置画面

 󲢓󱱃󳕎󱏃

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 󱏴󱝏󲲴󰋋󳋉 󱧼󰋋    󱏴󱝏  󱍙󰋋󳋉

 󰈄󰅦󲲴󰋋󳋉 󱧼󰋋󱏴󱝏  󰈄󰅦󳐷󱍙󰋋󳋉

 󱠞󱇴󰋋󳋉 󱧼󰋋󱏴󱝏  󰁷󰨠󰋋󳋉

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 󳮭󲡹

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第 5 章其它功能

5-63

5-4-4-13 信号灯

󲢓󱱃󱈐󳐷󲲥󲔡󰋋󰵄󱍙󰶎󰾋

󲳞󰵄󰌓󱘏󱍙󰵄󲢓󱱃󱈐󳐷

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图 5-35 信号灯设置画面

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 󲢓󱱃󳕎󱏃

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 󳕎󱏃 󲢓󱱃

 󱧐󱮴󲢓󱱃󱇽󲢓󱱃

· 系统设置󰐏󰏞󱍙󲢓󱱃󰸼󱧐󱮴󱍙

󲢓󱱃󰉅󰊵󰦪󰈎󲢓󱱃

· 用户设置󰈎󰵄󰔌

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󰦽 󲠻󳫸󰋋󳐷󰑔󱍙󰠷󳫸

󰠷󲠻󱳡󱍙󱷒󰠷󲠻󱍙󳫸󰐺󱍙󱷒󲩌󱇽

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󰔎󰁃󱈐󳐷󱍙󲚝󲔽󲳞󲙖󲢓󱱃󱍙󰠺󳝹󰵄󰛶󲳞󳆃󰾋

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