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第 5 章其它功能 5-61 5-4-4-11 基板传送 󲢓󱱃󰑔󲳖󰋋󱍙󰐶 󲳞 󰑔  󲳖 󰌓 󱘏  󰑔 󲳖󲢓󱱃 󱈐󳐷  图 5-33 基板传送设置画面   󳕎󱏃 󲢓󱱃  󲲴󰋋󳋉󱍙󲳞 󲳖󱍙󲲴󰋋󳋉󲢓󱱃󱮴󰋋󳋉󲢓󱱃 󲳞󲢺󳆃󰾋  󰓜…

第 5 章其它功能

5-60

5-4-4-10 HLC 连接

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图 5-32 HLC 连接的设置画面

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第 5 章其它功能

5-61

5-4-4-11 基板传送

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图 5-33 基板传送设置画面

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

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第 5 章其它功能

5-62

5-4-4-12 真空台

󲲰󲔡󰑔󱧼󰋋󱍙󱏴󱝏󲢓󱱃

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图 5-34 真空台设置画面

 󲢓󱱃󳕎󱏃

 󳕎󱏃 󲢓󱱃

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 󱠞󱇴󰋋󳋉 󱧼󰋋󱏴󱝏  󰁷󰨠󰋋󳋉

 󰣩󰋋󳋉 󲚸󳌹󱧼󰋋  󰋋󳋉

 󰈄󰅦󳌢󲲴󰋋󳋉

󲚸󳌹󱧼󰋋󰖕󰨠󱏴󱝏  󰈄󰅦󳐷

󳌢󳋉󱍙󰋋󳋉

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 󳮭󲡹

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