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QA表 机种 1.向音波式皮带张力计输入规定的数值,放到下列的位置进行测定。 调整时,请拧松编码器的固定螺丝,移动调整。 1.支撑台驱动用同步皮带张力: 45N±5N Weight=002.5 Width=009.0 Span=0261 【XL】 Weight=002.5 Width=009.0 Span=0333 【XL】 1.传导BU马达的驱动力,让支撑台上下移动。 1.支撑台上下不动作。发生异常声音。 NO ① ② NO. 担当人…

QA表
机种
1.把BU原点传感器配件和传感器的间隙(下图)调整成规格值。
1.安装在支撑台上的原点传感器配件和原点传感器的间隙为
1mm
1.确实地检测原点
1.支撑台原点复位时,不能检测原点,支撑台超过最下点(机械止动器)。
NO
①
②
NO. 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
功能名称 支撑台的高度位置识别(原点传感器)
质量保证类别 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
质量特性(规格调整值)
RS-1 装置名称 基板传送 确认方法及调整方法(故障处理方法)
功能作用(规格调整值的意义)
预想故障(应规格调整值不良而发生的故障)
对象元件
内容
40129042 AWC/BU ORG SENSOR CABLE ASM
40189350 BU_ORG_SENSOR_BR2
变更履历
40189351 BU_SENSOR_DOG2
日期
货号 品名 有关质量特性
配件和传感器的间隙为 1mm。
【 4 】- 13

QA表
机种
1.向音波式皮带张力计输入规定的数值,放到下列的位置进行测定。
调整时,请拧松编码器的固定螺丝,移动调整。
1.支撑台驱动用同步皮带张力: 45N±5N
Weight=002.5
Width=009.0
Span=0261
【XL】
Weight=002.5
Width=009.0
Span=0333 【XL】
1.传导BU马达的驱动力,让支撑台上下移动。
1.支撑台上下不动作。发生异常声音。
NO
①
②
NO. 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
RS-1 装置名称 基板传送 确认方法及调整方法(故障处理方法)
预想故障(应规格调整值不良而发生的故障)
功能名称 基板钳夹的稳定(支撑台的动作)
质量保证类别 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
质量特性(规格调整值)
功能作用(规格调整值的意义)
BU_TIMING_BELT_XL
日期
货号 品名 有关质量特性
对象元件
内容
40071334 BU_TIMING_BELT
变更履历
40215088
測定位置
弱
強
測定位置
弱
強
【 4 】- 14

QA表
机种
1.在贴装头部安装杠杆千分表,把治具放在下图所示圆记号附近,进行测定、调整。(3处)(XL为4处)
1.支撑台的上面平面度
0.02mm (注:因机器移动、设置等重新测量平面度时要在0.1mm以下)
1.让支撑台上下移动。 ※调节螺丝拧松后,球螺丝有可能脱落,作业时请注意。
2.生产基板的钳夹稳定 ※进行支撑台的平整度调整时,在台位于-27mm的状态下手动操作。
1.负荷增加,妨碍支撑台的上下移动。
发生异常声音
基板钳夹不稳定(根据位置)。
2.基板钳夹尺寸不同情况不同。
NO
①
②
NO. 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
RS-1 装置名称 基板传送 确认方法及调整方法(故障处理方法)
功能名称 基板钳夹的稳定(支撑台的平面)
质量保证类别 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
质量特性(规格调整值)
功能作用(规格调整值的意义)
预想故障(应规格调整值不良而发生的故障)
对象元件
货号 品名 有关质量特性
变更履历
日期 内容
松开固定螺丝,转动中央的调节
螺丝调整高度。
固定螺丝(3处)
调节螺丝(3处)
【 4 】- 15